表面微小阵列凹坑微细电解加工技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-26页 |
| ·微小阵列凹坑的应用前景 | 第14-16页 |
| ·金属微细加工技术 | 第16-21页 |
| ·微细切削加工技术 | 第16-17页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第17-18页 |
| ·激光微细加工技术 | 第18-19页 |
| ·微细电解加工技术 | 第19-20页 |
| ·LIGA 和准LIGA 技术 | 第20-21页 |
| ·微小阵列凹坑加工技术的研究和发展 | 第21-24页 |
| ·振动加工 | 第21页 |
| ·激光珩磨加工 | 第21-22页 |
| ·平顶珩磨 | 第22-23页 |
| ·松孔镀铬 | 第23页 |
| ·电火花成形加工微坑结构 | 第23页 |
| ·电束流加工微坑结构 | 第23-24页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 第二章 微细电解加工机理 | 第26-36页 |
| ·电解加工原理 | 第26-27页 |
| ·电解加工基本理论 | 第27-32页 |
| ·电极/溶液界面双电层 | 第27-28页 |
| ·电极电位和电极反应的顺序 | 第28-29页 |
| ·阳极极化 | 第29-30页 |
| ·法拉第定律 | 第30-32页 |
| ·掩膜电解加工 | 第32-33页 |
| ·加工间隙 | 第33-34页 |
| ·加工参数对加工结果的影响 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 平面微坑微细电解加工工艺研究 | 第36-62页 |
| ·掩膜微细电解技术 | 第36页 |
| ·工件掩膜 | 第36-42页 |
| ·工艺实验 | 第37-38页 |
| ·工件掩膜加工中电场分布有限元分析 | 第38-42页 |
| ·阴极掩膜加工 | 第42-48页 |
| ·工艺系统设计 | 第42-43页 |
| ·阴极制备 | 第43-44页 |
| ·工艺研究 | 第44-46页 |
| ·阴极掩膜加工中电场分布有限元分析 | 第46-48页 |
| ·掩膜板电解加工微坑 | 第48-60页 |
| ·工艺系统设计 | 第48-49页 |
| ·时间控制系统设计 | 第49页 |
| ·阴极制备 | 第49-50页 |
| ·夹具设计 | 第50-53页 |
| ·电解液对微坑加工效果的影响 | 第53-55页 |
| ·电流密度和时间对加工效果的影响 | 第55-57页 |
| ·掩模板加工电场理论模型分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 圆柱表面微小凹坑掩模板加工工艺研究 | 第62-70页 |
| ·工艺系统设计 | 第62-63页 |
| ·微细电解加工机床 | 第63-65页 |
| ·阴极制备 | 第65页 |
| ·加工方式对微坑加工效果影响 | 第65-66页 |
| ·工艺参数对微坑效果影响 | 第66-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76页 |
