| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| 第一节 集成光学简介 | 第7-8页 |
| 第二节 集成光学中玻璃基光波导的研究进展 | 第8-9页 |
| 第三节 本论文的研究内容 | 第9-11页 |
| 第二章 玻璃基离子交换光波导基本理论与制作技术 | 第11-28页 |
| 第一节 介质光波导的结构和折射率分布特点 | 第11-15页 |
| ·平面型介质光波导 | 第11-13页 |
| ·通道型介质光波导 | 第13-14页 |
| ·圆柱型介质光波导---光纤 | 第14-15页 |
| 第二节 光波导的典型材料和制作技术 | 第15-17页 |
| 第三节 离子交换过程 | 第17-20页 |
| 第四节 离子交换产生折射率变化的机理 | 第20-25页 |
| ·熔盐和衬底表面处的离子交换平衡 | 第20-21页 |
| ·极化和体积变化 | 第21-22页 |
| ·离子交换扩散动力学 | 第22-24页 |
| ·两步离子交换法制作掩埋波导 | 第24-25页 |
| 第五节 离子交换工艺 | 第25-28页 |
| ·实验设备和材料 | 第25-26页 |
| ·折射率分布的控制 | 第26-28页 |
| 第三章 光束传输法理论及离子交换波导的模拟分析 | 第28-45页 |
| 第一节 光束传播法的发展 | 第28-29页 |
| 第二节 典型的光束传输法 | 第29-34页 |
| ·快速傅立叶变化光束传输法（FFT-BPM） | 第29-30页 |
| ·FD-BPM 算法 | 第30-32页 |
| ·边界条件 | 第32-33页 |
| ·透明边界条件 | 第33-34页 |
| 第三节 光波导折射率分布模型 | 第34-38页 |
| 第四节 离子交换条形波导和Y 分支波导的设计模拟分析 | 第38-45页 |
| ·光波导的插入损耗 | 第38-39页 |
| ·离子交换条形波导的模拟分析 | 第39-40页 |
| ·弯曲波导中的损耗 | 第40-42页 |
| ·Y 分支波导的模拟分析 | 第42-45页 |
| 第四章 光波导制备实验及特性的分析测量 | 第45-67页 |
| 第一节 实验工艺流程 | 第45-54页 |
| ·玻璃衬底和交换离子的选择 | 第46-47页 |
| ·掩膜板 | 第47页 |
| ·光刻胶 | 第47-48页 |
| ·光刻 | 第48-50页 |
| ·蚀刻 | 第50页 |
| ·离子交换 | 第50-53页 |
| ·研磨抛光 | 第53-54页 |
| 第二节 实验中需注意的工艺问题 | 第54-56页 |
| ·基片及各种器皿的洁净问题 | 第54页 |
| ·离子交换反应中需注意的问题 | 第54-55页 |
| ·后期处理中的问题 | 第55-56页 |
| 第三节 光波导特性的测量分析 | 第56-67页 |
| ·波导与光纤的耦合 | 第56-61页 |
| ·折射率分布的测定 | 第61-63页 |
| ·传输损耗的测量 | 第63-67页 |
| 第五章 论文总结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 摘要 | 第73-83页 |
| Abstract | 第83-93页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94页 |