| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 致谢 | 第7-13页 |
| 第一章 概述 | 第13-23页 |
| ·脉冲激光沉积技术概述 | 第13-15页 |
| ·脉冲激光沉积设备 | 第15-16页 |
| ·类金刚石薄膜概述 | 第16-20页 |
| ·脉冲激光沉积类金刚石薄膜的研究现状以及本论文的研究目的 | 第20-23页 |
| 第二章 薄膜性能检测手段 | 第23-33页 |
| ·Raman 检测 | 第23-28页 |
| ·Raman 原理 | 第23-24页 |
| ·仪器简介 | 第24-26页 |
| ·Raman 分析软件及操作 | 第26-28页 |
| ·AFM | 第28-30页 |
| ·AFM 原理 | 第28-30页 |
| ·仪器简介 | 第30页 |
| ·XPS 测试 | 第30-33页 |
| ·XPS 测试原理 | 第30-31页 |
| ·仪器简介 | 第31-33页 |
| 第三章 脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验研究(Si 基底) | 第33-42页 |
| ·脉冲激光能量对类金刚石薄膜结构的影响 | 第33-36页 |
| ·实验内容与方法 | 第33页 |
| ·实验结果与分析 | 第33-36页 |
| ·结论 | 第36页 |
| ·沉积时温度对于类金刚石薄膜结构的影响 | 第36-42页 |
| ·实验内容与方法 | 第36-42页 |
| 第四章 脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验研究(Al_2O_3 和不锈钢基底) | 第42-49页 |
| ·在Al_2O_3 基底上采用脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验研究 | 第42-45页 |
| ·实验内容与方法 | 第42页 |
| ·实验结果与分析 | 第42-45页 |
| ·在316L 医用不锈钢基底上沉积类金刚石薄膜的实验研究 | 第45-49页 |
| ·实验内容与方法 | 第45-46页 |
| ·实验结果与分析 | 第46-48页 |
| ·实验结果与分析 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第52-53页 |
