激光扫描显示MEMS微镜研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-27页 |
| ·微显示技术 | 第9-17页 |
| ·微显示技术概述 | 第9-15页 |
| ·激光扫描微显示 | 第15-17页 |
| ·激光扫描显示MEMS微扫描镜的研究现状 | 第17-25页 |
| ·静电驱动式微扫描镜 | 第17-20页 |
| ·电热驱动式微扫描镜 | 第20-22页 |
| ·电磁驱动式微扫描镜 | 第22-23页 |
| ·压电驱动式微扫描镜 | 第23-24页 |
| ·研究现状分析比较 | 第24-25页 |
| ·本文主要内容 | 第25-27页 |
| 2 压电理论及2×1D微扫描镜组件工作原理 | 第27-37页 |
| ·压电理论 | 第27-31页 |
| ·压电效应及压电材料 | 第27-28页 |
| ·压电方程和压电常数 | 第28-31页 |
| ·压电陶瓷驱动器工作原理 | 第31-32页 |
| ·2×1D微扫描镜组件工作原理 | 第32-36页 |
| ·2×1D微扫描组件二维扫描原理 | 第32-33页 |
| ·水平扫描微镜结构及工作原理 | 第33-35页 |
| ·竖直扫描微镜结构及工作原理 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 微扫描镜结构设计 | 第37-57页 |
| ·微扫描镜技术性能要求 | 第37-41页 |
| ·分辨率和扫描频率 | 第37-38页 |
| ·固有频率和振型 | 第38-39页 |
| ·镜面平整度 | 第39-40页 |
| ·扭转应力 | 第40页 |
| ·镜片涂覆材料 | 第40-41页 |
| ·水平微扫描镜仿真优化设计 | 第41-48页 |
| ·水平扫描微镜有限元模型 | 第41-42页 |
| ·水平扫描微镜结构仿真优化设计 | 第42-45页 |
| ·水平扫描微镜性能仿真 | 第45-48页 |
| ·竖直扫描微镜结构仿真优化设计 | 第48-56页 |
| ·竖直扫描微镜有限元模型 | 第48-49页 |
| ·竖直扫描微镜结构仿真优化分析 | 第49-52页 |
| ·竖直扫描微镜性能仿真 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 4 压电陶瓷驱动微扫描镜的制作 | 第57-69页 |
| ·MEMS微加工工艺简介 | 第57-58页 |
| ·MEMS微加工工艺概念及类别 | 第57-58页 |
| ·微扫描镜工艺流程设计 | 第58-61页 |
| ·工艺流程设计 | 第58-60页 |
| ·微扫描镜加工版图设计 | 第60-61页 |
| ·微扫描镜制作与装配 | 第61-68页 |
| ·微扫描镜硅基结构的制作 | 第61-65页 |
| ·微扫描镜装配封装 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 5 压电陶瓷驱动微扫描镜的性能测试分析 | 第69-77页 |
| ·微扫描镜测试系统 | 第69-71页 |
| ·水平扫描微镜性能测试分析 | 第71-73页 |
| ·竖直扫描微镜性能测试分析 | 第73-74页 |
| ·二维扫描测试分析 | 第74-75页 |
| ·小结 | 第75-77页 |
| 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
