| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| Contents | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·前言 | 第13页 |
| ·SnO_2气敏机理 | 第13-15页 |
| ·贵金属掺杂对SnO_2气敏性能的影响 | 第15页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第15-16页 |
| ·磁控溅射 | 第16-17页 |
| ·测试方法 | 第17-20页 |
| ·直流静态电学性能测试 | 第17-18页 |
| ·复阻抗测试 | 第18-20页 |
| ·本论文研究内容及主要技术路线 | 第20-22页 |
| 第二章 溶胶凝胶法制备Au掺杂SnO_2厚膜及气敏性能研究 | 第22-32页 |
| ·试验所用仪器试剂 | 第22-23页 |
| ·SnO_2气敏传感器的结构 | 第23-25页 |
| ·样品制备 | 第25-26页 |
| ·Sol-Gel法制备SnO_2粉体 | 第25页 |
| ·液相掺杂制备不同掺杂SnO_2粉体 | 第25页 |
| ·丝网印刷技术制备不同掺杂SnO_2气敏元件 | 第25-26页 |
| ·试样的显微结构 | 第26页 |
| ·试样的测试与分析 | 第26-31页 |
| ·直流电学性能 | 第26-29页 |
| ·复阻抗分析 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 SnO_2薄膜的反应磁控溅射制备及气敏性能研究 | 第32-43页 |
| ·磁控溅射制备薄膜 | 第32-34页 |
| ·试样的显微结构 | 第34-35页 |
| ·电学性能测试与分析 | 第35-42页 |
| ·不同烧结温度对纯SnO_2薄膜气敏性能的影响 | 第35-36页 |
| ·溅射气氛对Au掺杂SnO_2薄膜气敏性能的影响 | 第36-39页 |
| ·不同 Au掺杂量对薄膜气敏性能的影响 | 第39-40页 |
| ·等离子体处理对薄膜气敏性能的影响 | 第40-42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| 第四章 SnO_2气敏薄膜的复阻抗谱分析 | 第43-52页 |
| ·磁控溅射SnO_2薄膜的等效电路研究 | 第43-46页 |
| ·晶界电导率的计算 | 第46-48页 |
| ·SnO_2气体灵敏度的复阻抗标定 | 第48-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第五章 主要结论及对后续工作的展望 | 第52-54页 |
| ·主要结论 | 第52-53页 |
| ·对后续工作的建议 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |