光栅莫尔条纹干涉计量及其应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·问题的提出及研究的意义 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-8页 |
| ·本文研究的目的和研究的内容 | 第8-10页 |
| 2 光栅的莫尔条纹理论基础 | 第10-26页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·光栅莫尔条纹的特点 | 第10-11页 |
| ·光栅莫尔条纹形成机理 | 第11-19页 |
| ·遮光阴影原理 | 第11-13页 |
| ·衍射干涉原理 | 第13-19页 |
| ·实际应用中的莫尔条纹情况 | 第19-21页 |
| ·光栅测量的原理、方案及特点 | 第21-25页 |
| ·光栅测量原理 | 第21-22页 |
| ·光栅测量方案 | 第22-24页 |
| ·光栅测量的特点 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 光栅读数头 | 第26-38页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·光栅读数头 | 第26-31页 |
| ·幅度调制型读数头 | 第26-30页 |
| ·相位调制型读数头 | 第30-31页 |
| ·照明系统与接收元件 | 第31-36页 |
| ·照明系统 | 第31-33页 |
| ·光电接收元件 | 第33-36页 |
| ·光栅副间隙的选取 | 第36-37页 |
| ·小间隙下工作 | 第36页 |
| ·大间隙下工作 | 第36-37页 |
| ·如何选择光栅副间隙 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 4 光电信号的处理和光栅测量仪器电路的设计 | 第38-55页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·电子细分对莫尔条纹光电信号质量的要求 | 第38-41页 |
| ·正弦性 | 第38页 |
| ·信号的等幅性和全行程信号幅值的一致性 | 第38页 |
| ·正弦信号和余弦信号的正交性 | 第38页 |
| ·稳定性 | 第38页 |
| ·对比度 | 第38-41页 |
| ·光电信号的处理 | 第41-46页 |
| ·电平补偿 | 第41-42页 |
| ·多线均差 | 第42页 |
| ·相减处理 | 第42-46页 |
| ·光栅测量仪器电路的设计 | 第46-54页 |
| ·电路总框图 | 第46-47页 |
| ·放大器电路模块 | 第47页 |
| ·整形电路模块 | 第47-49页 |
| ·基于FPGA 完成的电路模块 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 5 光栅在精密计量技术中的应用 | 第55-62页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·数字读数显微镜 | 第55-61页 |
| ·光学系统 | 第56-57页 |
| ·控制与显示系统 | 第57-59页 |
| ·CCD 摄像机与显示器 | 第59-61页 |
| ·仪器使用说明 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 结论与展望 | 第62-63页 |
| ·结论 | 第62页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-66页 |
| 附录 | 第66页 |
