| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 绪论 | 第9-23页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-21页 |
| ·GaAs/Al_xGa_(1-x)As HEMT 材料国内外研究现状以及HEMT 发展历程 | 第11-13页 |
| ·国内外基于场效应晶体管的微机械传感器现状分析 | 第13-16页 |
| ·微加速度计的发展概况与趋势 | 第16-21页 |
| ·本论文的研究的主要内容 | 第21-23页 |
| 2. HEMT 工作原理与参数设计 | 第23-33页 |
| ·HEMT 的能带结构E_(VL) | 第23-24页 |
| ·二维电子气及HEMT 工作原理 | 第24-28页 |
| ·二维电子气 | 第24-27页 |
| ·HEMT 的工作原理 | 第27-28页 |
| ·HEMT 力电耦合原理 | 第28-29页 |
| ·HEMT 参数设计 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3. HEMT 嵌入式加速度计的结构分析与设计 | 第33-55页 |
| ·GaAs 基 HEMT 嵌入式加速度传感器的结构设计 | 第33-40页 |
| ·设计原则 | 第33-36页 |
| ·加速度计结构的力学特性分析 | 第36-40页 |
| ·加速度计结构参数优化 | 第40-45页 |
| ·加速度计结构的ANSYS 仿真分析 | 第45-54页 |
| ·ANSYS 有限元分析软件 | 第45-47页 |
| ·加速度计结构的静态分析 | 第47-50页 |
| ·加速度计的结构模态分析 | 第50-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 4. GaAs 基HEMT 嵌入式加速度计的工艺及版图设计 | 第55-72页 |
| ·HEMT 嵌入式加速度计关键工艺介绍 | 第55-63页 |
| ·HEMT 嵌入式穿加速度计关键工艺设计 | 第63-65页 |
| ·加速度计结构的版图设计 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5. HEMT 嵌入式加速度计的实验研究 | 第72-80页 |
| ·HEMT 参数特性的测试 | 第72-73页 |
| ·温度特性实验及结果分析 | 第73-74页 |
| ·加速度计的静态加压实验 | 第74-77页 |
| ·加速度结构的动态特性实验 | 第77-79页 |
| ·加速度计结构的输出特性实验 | 第77-78页 |
| ·加速度计的频响特性实验 | 第78-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 6. 结论与展望 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
