MEMS热控百叶窗仿真与实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·MEMS百叶窗研究现状 | 第9-13页 |
| ·本文的主要工作 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 2 MEMS百叶窗设计 | 第15-30页 |
| ·MEMS百叶窗力学模型 | 第15-17页 |
| ·静电驱动结构 | 第17-21页 |
| ·平行板结构 | 第18-19页 |
| ·梳齿结构 | 第19-21页 |
| ·百叶窗结构设计 | 第21-26页 |
| ·总体设计 | 第21-24页 |
| ·具体结构设计 | 第24-26页 |
| ·百叶窗设计结构的初步分析 | 第26-29页 |
| ·不同折叠梁串联数的百叶窗对比分析 | 第26-27页 |
| ·百叶窗当量发射率简单分析 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 MEMS百叶窗有限元仿真 | 第30-40页 |
| ·有限元仿真简介 | 第30-31页 |
| ·静态分析 | 第31-35页 |
| ·多折叠梁静态仿真对比分析 | 第31-34页 |
| ·MEMS百叶窗静态分析 | 第34-35页 |
| ·模态分析 | 第35-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 MEMS百叶窗的加工工艺与制作 | 第40-51页 |
| ·MEMS发展概述 | 第40-42页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第42-45页 |
| ·表面微加工技术 | 第42页 |
| ·体硅微加工技术 | 第42-45页 |
| ·MEMS百叶窗工艺流程 | 第45-48页 |
| ·器件加工结果 | 第48-50页 |
| ·加工问题分析 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 MEMS百叶窗器件测试 | 第51-56页 |
| ·谐振频率测试 | 第51-52页 |
| ·输出位移测试 | 第52-53页 |
| ·发射率分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 结论与展望 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
