扫描近场光学显微镜若干关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 插图目录 | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| ·显微镜技术的发展 | 第14-18页 |
| ·传统光学显微镜的发展 | 第14-16页 |
| ·近场光学显微镜的发展 | 第16-18页 |
| ·近场光学显微镜成像原理 | 第18-26页 |
| ·倏逝波——突破衍射极限 | 第18-22页 |
| ·宏观近场光学理论 | 第22-25页 |
| ·微观近场光学理论 | 第25-26页 |
| ·近场光学显微镜的应用 | 第26-28页 |
| ·论文的工作及内容安排 | 第28-30页 |
| 第2章 扫描近场光学显微镜系统 | 第30-60页 |
| ·传统扫描近场光学显微镜的基本结构和关键技术 | 第30-33页 |
| ·扫描近场光学显微镜的工作方式 | 第33-35页 |
| ·国外商业化SNOM发展 | 第35-36页 |
| ·SNOM系统搭建 | 第36-48页 |
| ·光机结构 | 第37-39页 |
| ·控制仪器规划 | 第39-40页 |
| ·DSP主控制系统 | 第40-44页 |
| ·反馈控制系统 | 第44-47页 |
| ·上位机控制软件 | 第47-48页 |
| ·探针-样品距离控制系统 | 第48-58页 |
| ·音叉光纤探针模块 | 第49-50页 |
| ·相位检测模块 | 第50-52页 |
| ·反馈控制系统分析 | 第52-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第3章 SNOM扫描器的非线性分析及校正 | 第60-88页 |
| ·压电陶瓷的基本理论 | 第60-69页 |
| ·压电效应 | 第60-61页 |
| ·压电常数和压电方程 | 第61-64页 |
| ·压电陶瓷管扫描器 | 第64-65页 |
| ·压电陶瓷管位移-电压特性线性建模 | 第65-69页 |
| ·压电陶瓷管扫描器的非线性分析 | 第69-75页 |
| ·压电陶瓷管在电场下位移的微观机理 | 第69-71页 |
| ·压电陶瓷管的非线性对扫描图像的影响 | 第71-75页 |
| ·扫描图像的非线性校正 | 第75-86页 |
| ·非线性校正方法 | 第75-76页 |
| ·软件预校正研究 | 第76-79页 |
| ·非线性校正扫描器研究 | 第79-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第4章 高速SNOM控制系统研究 | 第88-100页 |
| ·探针-样品距离控制 | 第88-92页 |
| ·探针-样品距离控制方式 | 第88-89页 |
| ·音叉探针-样品相互作用 | 第89-91页 |
| ·SNOM扫描速度分析 | 第91-92页 |
| ·高频石英片探针设计 | 第92-97页 |
| ·高频石英振荡器设计要求 | 第92-93页 |
| ·高频石英片外形尺寸计算 | 第93-97页 |
| ·石英片建模和实物图 | 第97页 |
| ·高频石英片-光纤探针实验 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-100页 |
| 第5章 四压电陶瓷管驱动的扫描台研制 | 第100-110页 |
| ·扫描台结构设计 | 第100-103页 |
| ·扫描台结构简介 | 第100-102页 |
| ·扫描台运动模式 | 第102-103页 |
| ·扫描台结构的有限元建模 | 第103-107页 |
| ·材料参数选择 | 第103-104页 |
| ·网格划分 | 第104-105页 |
| ·计算结果 | 第105-107页 |
| ·扫描台位移测量 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 第6章 展望与总结 | 第110-112页 |
| ·本文内容总结 | 第110页 |
| ·本文创新之处 | 第110-111页 |
| ·后续工作展望 | 第111-112页 |
| 附录一 | 第112-114页 |
| 附录二 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-122页 |
| 在读期间取得科研成果 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123页 |
