高精度面形检测中环境扰动因素分析
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-14页 |
| ·影响干涉检测的环境因素 | 第14-15页 |
| ·精密元件面形检测的发展现状 | 第15-24页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 环境条件影响分析的理论基础 | 第25-39页 |
| ·热弹性力学的基本方程 | 第25-28页 |
| ·流体力学基本方程式 | 第28-32页 |
| ·Edlén 公式 | 第32-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 环境温度引起的镜面热变形分析 | 第39-61页 |
| ·环境温度水平的影响分析 | 第39-45页 |
| ·环境温度分布不均匀的影响分析 | 第45-54页 |
| ·环境温度不稳定的影响分析 | 第54-56页 |
| ·镜子形状对变形的影响分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-61页 |
| 第4章 环境条件对光腔折射率的影响分析 | 第61-81页 |
| ·实验室环境条件概述 | 第61-67页 |
| ·强制对流条件下的光腔折射率变化 | 第67-72页 |
| ·自然对流条件下的光腔折射率变化 | 第72-75页 |
| ·送风速度的影响分析 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-81页 |
| 第5章 环境条件引入的测量不确定度分析 | 第81-103页 |
| ·实验条件介绍 | 第81-82页 |
| ·面形测量的重复性 | 第82-90页 |
| ·多次测量的均值及其不确定度 | 第90-96页 |
| ·不同环境条件的影响分析 | 第96-101页 |
| ·本章小结 | 第101-103页 |
| 第6章 精密环控实验室建设 | 第103-117页 |
| ·影响实验室环境温度的扰动因素分析 | 第103-106页 |
| ·精密环境参数测量系统 | 第106-114页 |
| ·本章小结 | 第114-117页 |
| 第7章 总结与展望 | 第117-119页 |
| ·本文的研究工作 | 第117-118页 |
| ·本文的创新之处 | 第118页 |
| ·进一步工作展望 | 第118-119页 |
| 参考文献 | 第119-125页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第125-127页 |
| 指导教师及作者简介 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129页 |
