复杂微结构的激光加工工艺规划

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-14页
·课题研究的目的及意义	第9-10页
·国内外发展状况	第10-12页
·激光技术的发展	第10-11页
·国内外研究现状	第11-12页
·本文的主要研究内容	第12-14页
第2章 超短激光加工系统及其加工特性	第14-19页
·157nm激光加工系统及其加工特性	第14-16页
·飞秒激光加工系统及其加工特性	第16-19页
第3章 157nm激光抛光加工的数学模拟	第19-33页
·157nm激光抛光GaN外延片实验	第19-23页
·157nm激光抛光的数学模型	第23-30页
·工艺参数优化	第30-32页
·本章小结	第32-33页
第4章 飞秒激光抛光加工的数学模拟	第33-44页
·飞秒激光抛光石英材料实验	第33-35页
·飞秒激光抛光数学模型的建立	第35-41页
·飞秒激光抛光数学模型的分析	第41-43页
·本章小结	第43-44页
第5章 超短激光微加工的人机界面设计	第44-70页
·人机界面开发工具和总体框架	第44-47页
·Visual Basic开发工具	第44-45页
·Matlab开发工具	第45-46页
·人机界面总体框架	第46-47页
·基片大平面的抛光加工界面	第47-54页
·光纤端面微结构的加工界面	第54-58页
·光纤环状微结构的加工界面	第58-63页
·光纤侧面微结构的加工界面	第63-69页
·本章小结	第69-70页
第6章 总结与展望	第70-72页
·全文总结	第70-71页
·前景展望	第71-72页
致谢	第72-73页
参考文献	第73-76页
发表论文及参加科研情况说明	第76-77页
附录	第77-80页