SOI基栅控横向PIN蓝紫光探测器的理论建模与工艺研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第15-16页 |
| 1.4 论文主要内容与结构 | 第16-18页 |
| 第二章 基本原理分析 | 第18-25页 |
| 2.1 光电效应 | 第18-19页 |
| 2.2 光电探测器的原理 | 第19-20页 |
| 2.2.1 PIN型光电二极管 | 第19页 |
| 2.2.2 反向抽取理论 | 第19-20页 |
| 2.3 LPIN PD-GTE工作原理 | 第20-21页 |
| 2.4 光电二极管性能参数 | 第21-23页 |
| 2.4.1 量子效率和响应度 | 第21-22页 |
| 2.4.2 暗电流与噪声 | 第22页 |
| 2.4.3 结电容与响应速度 | 第22-23页 |
| 2.4.4 频率特性与温度特性 | 第23页 |
| 2.5 SILVACO软件 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 模型构建与验证 | 第25-42页 |
| 3.1 栅极电压模型构建 | 第25-26页 |
| 3.2 暗电流模型构建 | 第26-32页 |
| 3.3 光电流模型构建 | 第32-36页 |
| 3.4 数值计算与结果分析 | 第36-41页 |
| 3.4.1 栅极电压 | 第37-38页 |
| 3.4.2 暗电流 | 第38-39页 |
| 3.4.3 光电流 | 第39-40页 |
| 3.4.4 信噪比 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 工艺实现与特性研究 | 第42-47页 |
| 4.1 工艺仿真 | 第42-45页 |
| 4.2 特性研究 | 第45-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 温度特性研究 | 第47-54页 |
| 5.1 温度特性模型构建 | 第47-50页 |
| 5.2 温度特性研究 | 第50-53页 |
| 5.2.1 栅极电压模型验证 | 第50-51页 |
| 5.2.2 温度特性研究 | 第51-53页 |
| 5.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第61-62页 |
| 附录B 计算机模拟仿真软件 | 第62-67页 |
