| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 硬质合金刀片制备工艺 | 第11-12页 |
| 1.2.2 工艺参数数据库决策 | 第12页 |
| 1.2.3 工件表面粗糙度研究 | 第12-14页 |
| 1.2.4 车削工艺参数优化 | 第14-15页 |
| 1.2.5 目前存在的主要问题 | 第15页 |
| 1.3 研究目标及内容 | 第15-17页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第15页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 CMP硬质合金刀片的制备 | 第17-27页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 化学机械抛光原理 | 第17-19页 |
| 2.3 硬质合金刀片前刀面多工序CMP抛光实验 | 第19-26页 |
| 2.3.1 实验设备及实验材料 | 第19-20页 |
| 2.3.2 多工序CMP工艺流程设计 | 第20页 |
| 2.3.3 抛光液磨粒选择 | 第20-22页 |
| 2.3.4 多工序CMP硬质合金刀片的实验方案 | 第22-23页 |
| 2.3.5 多工序CMP抛光实验数据采集 | 第23-25页 |
| 2.3.6 多工序CMP刀片前刀面的表面形貌对比分析 | 第25-26页 |
| 2.4 小结 | 第26-27页 |
| 第3章 难加工材料的工件表面粗糙度车削实验研究 | 第27-45页 |
| 3.1 引言 | 第27页 |
| 3.2 工件表面粗糙度相关理论基础 | 第27-28页 |
| 3.3 CMP硬质合金刀片的车削实验 | 第28-33页 |
| 3.3.1 实验设备及实验材料 | 第28-30页 |
| 3.3.2 工件表面粗糙度的实验方案设计 | 第30-31页 |
| 3.3.3 车削实验数据的采集 | 第31-33页 |
| 3.4 钛合金工件表面粗糙度数据分析 | 第33-38页 |
| 3.4.1 切削参数及刀片表面粗糙度对工件表面粗糙度的影响分析 | 第33-36页 |
| 3.4.2 钛合金工件表面粗糙度模型建立 | 第36-37页 |
| 3.4.3 钛合金工件表面粗糙度模型验证 | 第37-38页 |
| 3.5 镍基高温合金工件表面粗糙度数据分析 | 第38-43页 |
| 3.5.1 切削参数及刀片表面粗糙度对工件表面粗糙度的影响分析 | 第38-42页 |
| 3.5.2 镍基高温合金工件表面粗糙度模型建立 | 第42-43页 |
| 3.5.3 镍基高温合金工件表面粗糙度模型验证 | 第43页 |
| 3.6 小结 | 第43-45页 |
| 第4章 基于工件表面粗糙度的刀片表面粗糙度与切削参数优化 | 第45-53页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 自适应变异优化粒子群算法 | 第45-48页 |
| 4.2.1 自适应变异优化粒子群算法原理 | 第45-47页 |
| 4.2.2 自适应变异优化粒子群算法流程 | 第47-48页 |
| 4.3 基于工件表面粗糙度的优化模型 | 第48-51页 |
| 4.3.1 多目标优化函数 | 第48-50页 |
| 4.3.2 钛合金表面粗糙度的优化模型 | 第50页 |
| 4.3.3 镍基高温合金表面粗糙度的优化模型 | 第50-51页 |
| 4.4 基于优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化 | 第51-52页 |
| 4.4.1 钛合金优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化 | 第51页 |
| 4.4.2 镍基高温合金优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化 | 第51-52页 |
| 4.5 小结 | 第52-53页 |
| 第5章 基于刀片表面粗糙度的CMP抛光参数优化 | 第53-71页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 CMP抛光工艺参数决策基础理论 | 第53-63页 |
| 5.2.1 功能需求分析 | 第53-54页 |
| 5.2.2 混合推理机制 | 第54-56页 |
| 5.2.3 刀片表面粗糙度预测模型的建立 | 第56-62页 |
| 5.2.4 总体框架设计 | 第62-63页 |
| 5.3 CMP抛光工艺参数决策程序开发 | 第63-65页 |
| 5.3.1 管理系统的选择 | 第63页 |
| 5.3.2 前端开发软件的选择 | 第63页 |
| 5.3.3 决策程序开发 | 第63-64页 |
| 5.3.4 决策程序实例测试 | 第64-65页 |
| 5.4 基于决策程序的CMP硬质合金刀片抛光参数优化组合 | 第65-67页 |
| 5.4.1 钛合金优化模型的CMP抛光参数优化组合 | 第66页 |
| 5.4.2 镍基高温合金优化模型的CMP抛光参数优化组合 | 第66-67页 |
| 5.5 实验验证 | 第67-70页 |
| 5.5.1 钛合金CMP抛光参数与切削参数优化组合的实验验证 | 第67-69页 |
| 5.5.2 镍基高温合金CMP抛光参数与切削参数优化组合的实验验证 | 第69-70页 |
| 5.6 小结 | 第70-71页 |
| 结论与展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间获得的科研成果及参与的科研项目 | 第79页 |
