| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-13页 |
| 1.2.1 激光雷达的研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.2 光学扫描技术的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 MEMS微镜扫描方式 | 第13-16页 |
| 1.3.1 MEMS微镜扫描 | 第13-14页 |
| 1.3.2 MEMS微镜扫描现有设计方案 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统建模与参数计算 | 第17-31页 |
| 2.1 主要技术要求 | 第17-18页 |
| 2.2 理想光学系统建模 | 第18-27页 |
| 2.2.1 消像散透镜组 | 第20-21页 |
| 2.2.2 光束变换透镜组 | 第21-23页 |
| 2.2.3 像点位置补偿透镜组 | 第23-26页 |
| 2.2.4 准直物镜组 | 第26-27页 |
| 2.3 理想光学系统参数 | 第27-30页 |
| 2.3.1 微镜扫描角度与系统扫描视场的数学关系 | 第27-28页 |
| 2.3.2 探测光束发散角的理论公式 | 第28-29页 |
| 2.3.3 光学系统各核心透镜组的参数设计 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统核心透镜组的光学设计 | 第31-40页 |
| 3.1 光束变换透镜组 | 第31-33页 |
| 3.2 像点位置补偿透镜组 | 第33-36页 |
| 3.3 准直物镜组 | 第36-38页 |
| 3.4 消像散透镜组 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统参数的理论评价 | 第40-46页 |
| 4.1 光学系统整体建模 | 第40-43页 |
| 4.2 光学系统实现的技术指标 | 第43-45页 |
| 4.2.1 微镜扫描角度与系统扫描视场的仿真验证 | 第43-44页 |
| 4.2.2 探测光束发散角的仿真验证 | 第44-45页 |
| 4.3 本章小结 | 第45-46页 |
| 5 MEMS微镜扫描激光雷达发射光学系统的实验研究 | 第46-56页 |
| 5.1 实验方案 | 第46页 |
| 5.2 主要实验仪器 | 第46-48页 |
| 5.3 实验结果与分析 | 第48-55页 |
| 5.3.1 微镜扫描角度与系统扫描视场关系的实验验证 | 第48-52页 |
| 5.3.2 探测光束发散角的实验验证 | 第52-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| 6.1 总结 | 第56页 |
| 6.2 展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 附录 | 第62页 |
