| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-20页 |
| 1.2.1 金属纳米线的制备方法 | 第13-16页 |
| 1.2.2 金属纳米线的互连方法 | 第16-20页 |
| 1.3 课题主要研究内容和论文框架 | 第20-23页 |
| 第二章 电子束诱导金属纳米线的实验设备 | 第23-31页 |
| 2.1 扫描电子显微镜 | 第23-27页 |
| 2.1.1 扫描电子显微镜的构成 | 第24-26页 |
| 2.1.2 扫描电子显微镜的工作原理 | 第26-27页 |
| 2.2 分散金属纳米颗粒实验设备 | 第27-29页 |
| 2.3 实验材料 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 电子束诱导金属纳米线直写的理论分析 | 第31-43页 |
| 3.1 电子束能量作用机理分析 | 第31-32页 |
| 3.2 电子束的热场分布模型 | 第32-38页 |
| 3.2.1 电子束热场分布的理论基础 | 第32-34页 |
| 3.2.2 电子束热场分布建模 | 第34-38页 |
| 3.3 电子束诱导金属纳米线直写作用力分析 | 第38-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 电子束诱导金属纳米线手动控制直写 | 第43-64页 |
| 4.1 金属纳米颗粒的分散实验流程及结果分析 | 第43-46页 |
| 4.2 电子束熔融Ag纳米颗粒实验研究与分析 | 第46-47页 |
| 4.3 电子束诱导金属纳米线直写实验 | 第47-58页 |
| 4.3.1 Ag纳米线的直写实验研究与分析 | 第47-49页 |
| 4.3.2 Cu纳米线的直写实验研究与分析 | 第49-51页 |
| 4.3.3 Au纳米线的直写实验研究与分析 | 第51-53页 |
| 4.3.4 Al纳米线的直写实验研究与分析 | 第53-55页 |
| 4.3.5 Pt纳米线的直写实验研究与分析 | 第55-57页 |
| 4.3.6 Pd纳米线的直写实验研究与分析 | 第57-58页 |
| 4.4 金纳米线的简单图案化直写实验研究与分析 | 第58-60页 |
| 4.5 金属纳米线的三维形貌检测实验研究及结果分析 | 第60-62页 |
| 4.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第五章 电子束诱导金属纳米线自动化直写 | 第64-75页 |
| 5.1 直线型Ag纳米线自动化直写 | 第64-70页 |
| 5.1.1 Visual Studio 2012 简介 | 第64-65页 |
| 5.1.2 程序设计 | 第65-70页 |
| 5.2 圆弧型Ag纳米线自动化直写 | 第70-73页 |
| 5.2.1 程序设计 | 第71-72页 |
| 5.2.2 实验研究与结果分析 | 第72-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 全文总结 | 第75-76页 |
| 6.2 课题展望 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |