| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.2 钴铁氧体的概述 | 第11-21页 |
| 1.2.1 钴铁氧体的结构与性能 | 第11-13页 |
| 1.2.2 钴铁氧体薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 1.2.3 钴铁氧体薄膜的研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3 钴铁氧体薄膜种子层相关方面的研究 | 第21页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验材料及分析方法 | 第23-28页 |
| 2.1 实验材料 | 第23-24页 |
| 2.1.1 薄膜衬底材料 | 第23页 |
| 2.1.2 种子层及薄膜所需材料 | 第23-24页 |
| 2.2 材料制备方法 | 第24-25页 |
| 2.2.1 溶胶-凝胶法制备CFO基薄膜及部分种子层 | 第24页 |
| 2.2.2 真空蒸镀法制备Bi_2O_3 种子层 | 第24页 |
| 2.2.3 磁控溅射法制备SrTiO_3种子层 | 第24页 |
| 2.2.4 顶电极的制备 | 第24-25页 |
| 2.3 CFO基薄膜材料的表征分析方法及性能测试 | 第25-28页 |
| 2.3.1 CFO基薄膜材料的结构分析 | 第25页 |
| 2.3.2 CFO基薄膜材料及种子层的形貌表征 | 第25页 |
| 2.3.3 CFO基薄膜材料的残余应力分析 | 第25页 |
| 2.3.4 CFO基薄膜材料的电性能测试与分析 | 第25-27页 |
| 2.3.5 CFO基薄膜材料的磁性能测试与分析 | 第27-28页 |
| 第3章 简单氧化物种子层对CFO薄膜结构和性能影响 | 第28-47页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 氧化物种子层的筛选 | 第28-32页 |
| 3.2.1 Fe_2O_3 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第28-30页 |
| 3.2.2 Bi_2O_3 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.3 CoO种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第31-32页 |
| 3.3 CoO种子层厚度对CFO薄膜结构与性能的影响 | 第32-38页 |
| 3.3.1 CFO薄膜的微观组织结构 | 第32-34页 |
| 3.3.2 CFO薄膜的残余应力 | 第34-36页 |
| 3.3.3 CFO薄膜的介电性能 | 第36-37页 |
| 3.3.4 CFO薄膜的磁性能 | 第37-38页 |
| 3.4 CoO种子层退火温度对CFO薄膜结构与性能的影响 | 第38-46页 |
| 3.4.1 CFO薄膜的微观组织结构 | 第39-42页 |
| 3.4.2 CFO薄膜的残余应力 | 第42-44页 |
| 3.4.3 CFO薄膜的介电性能 | 第44页 |
| 3.4.4 CFO薄膜的磁性能 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 复合氧化物种子层对CFO薄膜结构和性能影响 | 第47-55页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 复合氧化物种子层的筛选 | 第47-51页 |
| 4.2.1 ZnFe_2O_4 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第47-48页 |
| 4.2.2 CoAl_2O_4 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第48-49页 |
| 4.2.3 Co_(0.8)Fe_(2.2)O_4 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第49-50页 |
| 4.2.4 SrTiO_3 种子层对CFO薄膜微观组织的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.5 本节小结 | 第51页 |
| 4.3 SrTiO_3 种子层对CFO薄膜应力及性能的影响 | 第51-54页 |
| 4.3.1 SrTiO_3 种子层对CFO薄膜残余应力的影响 | 第51-52页 |
| 4.3.2 SrTiO_3 种子层对CFO薄膜介电性能的影响 | 第52-53页 |
| 4.3.3 SrTiO_3 种子层对CFO薄膜磁性能的影响 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章CoO和SrTiO_3种子层对ALCFO薄膜结构和性能的影响 | 第55-74页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 CoO种子层对ALCFO薄膜结构和性能的影响 | 第55-63页 |
| 5.2.1 不同退火时间的ALCFO薄膜的结构和性能研究 | 第55-59页 |
| 5.2.2 不同层数的ALCFO薄膜的结构和性能研究 | 第59-63页 |
| 5.3 SrTiO_3 种子层对ALCFO薄膜结构和性能的影响 | 第63-71页 |
| 5.3.1 不同退火时间的ALCFO薄膜的结构和性能研究 | 第63-67页 |
| 5.3.2 不同层数的ALCFO薄膜的结构和性能研究 | 第67-71页 |
| 5.4 CoO和SrTiO_3种子层上ALCFO薄膜漏电机制的研究 | 第71-72页 |
| 5.5 本章小结 | 第72-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
