| 提要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究意义 | 第7-8页 |
| ·国内外现状 | 第8-9页 |
| ·研究内容 | 第9-11页 |
| 第二章 基于SOI 的F-P腔可调谐光滤波器的整体设计 | 第11-20页 |
| ·基于SOI波导谐振腔的透射谱分析 | 第11-13页 |
| ·F-P腔滤波器的结构优化 | 第13-16页 |
| ·SOI脊型波导的设计 | 第13-14页 |
| ·DBR反射结构的优化 | 第14-16页 |
| ·可调谐滤波器的实现 | 第16-18页 |
| ·器件整体结构设计 | 第18-20页 |
| 第三章 静电梳状电极结构设计与分析 | 第20-34页 |
| ·静电梳状电极介绍 | 第20页 |
| ·静电梳状电极结构设计 | 第20-22页 |
| ·梳状电极力学分析 | 第22-26页 |
| ·静电驱动电极工作原理 | 第22-23页 |
| ·电容静电驱动的边缘效应分析 | 第23-25页 |
| ·静电驱动负载分析 | 第25-26页 |
| ·梳状电极在不同负载下的形变分析的比较 | 第26-30页 |
| ·集中力负载情况形变梁分析 | 第26-27页 |
| ·载荷均匀分布在整根梁的形变分析 | 第27-28页 |
| ·载荷分布在固定梁两端的形变分析 | 第28-29页 |
| ·载荷分布在固定梁中间部分的形变分析 | 第29-30页 |
| ·系统参数优化 | 第30-32页 |
| ·可调谐滤波器的灵敏度分析 | 第30页 |
| ·固有频率 | 第30页 |
| ·系统的瞬态动力学分析 | 第30-32页 |
| ·结论 | 第32-34页 |
| 第四章 ANSYS建模及仿真 | 第34-53页 |
| ·ANSYS有限元分析 | 第34-37页 |
| ·ANSYS简介 | 第34-35页 |
| ·有限元法 | 第35-37页 |
| ·梳状电极的静力分析 | 第37-42页 |
| ·结构静力学ANSYS有限元分析 | 第37页 |
| ·梳状电极的静力学分析 | 第37-42页 |
| ·梳状电极的动力学分析 | 第42-52页 |
| ·动力学分析原理 | 第42-43页 |
| ·模态分析 | 第43-47页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第47-52页 |
| ·总结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论与展望 | 第53-55页 |
| ·全文总结 | 第53-54页 |
| ·工作展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 摘要 | 第59-61页 |
| Abstract | 第61-63页 |