微小球最大横截面圆度测量系统研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| Abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第14-20页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外发展概况 | 第15-19页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 测量系统原理 | 第20-35页 |
| 2.1 圆度测量原理 | 第20-23页 |
| 2.1.1 直径变化值测量原理 | 第20-21页 |
| 2.1.2 传感器选择 | 第21-23页 |
| 2.2 迈克尔逊激光干涉仪原理 | 第23-25页 |
| 2.3 信号处理 | 第25-30页 |
| 2.3.1 信号的辨向计数细分 | 第27-29页 |
| 2.3.2 相位细分 | 第29-30页 |
| 2.4 半径变化值测量原理 | 第30-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 圆度测量系统整体结构 | 第35-48页 |
| 3.1 弹性机构 | 第35-37页 |
| 3.1.1 弹性机构的装配 | 第35-37页 |
| 3.1.2 平面镜的研制 | 第37页 |
| 3.2 微型迈克尔逊激光干涉仪 | 第37-39页 |
| 3.3 待测球的装配 | 第39-40页 |
| 3.3.1 微测球的制作 | 第39-40页 |
| 3.3.2 待测球的安装 | 第40页 |
| 3.4 旋转结构 | 第40-41页 |
| 3.5 整体结构 | 第41-46页 |
| 3.5.1 信号处理电路 | 第43-44页 |
| 3.5.2 信号采集配置 | 第44-45页 |
| 3.5.3 软件系统设计 | 第45-46页 |
| 3.6 测量半径变化值装置 | 第46-47页 |
| 3.7 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 测量实验 | 第48-67页 |
| 4.1 迈克尔逊激光干涉仪性能 | 第48页 |
| 4.2 校准迈克尔逊激光干涉仪 | 第48-51页 |
| 4.3 圆度测量实验 | 第51-63页 |
| 4.3.1 直径变化值 | 第51-55页 |
| 4.3.2 半径变化值 | 第55-63页 |
| 4.4 误差分析 | 第63-66页 |
| 4.4.1 对比光学测量方法 | 第63-64页 |
| 4.4.2 接触力的影响 | 第64页 |
| 4.4.3 不确定度分析 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 研究总结 | 第67页 |
| 5.2 工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第72页 |
