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微小球最大横截面圆度测量系统研究

致谢第7-8页
摘要第8-9页
Abstract第9页
第一章 绪论第14-20页
    1.1 研究目的及意义第14-15页
    1.2 国内外发展概况第15-19页
    1.3 主要研究内容第19-20页
第二章 测量系统原理第20-35页
    2.1 圆度测量原理第20-23页
        2.1.1 直径变化值测量原理第20-21页
        2.1.2 传感器选择第21-23页
    2.2 迈克尔逊激光干涉仪原理第23-25页
    2.3 信号处理第25-30页
        2.3.1 信号的辨向计数细分第27-29页
        2.3.2 相位细分第29-30页
    2.4 半径变化值测量原理第30-34页
    2.5 本章小结第34-35页
第三章 圆度测量系统整体结构第35-48页
    3.1 弹性机构第35-37页
        3.1.1 弹性机构的装配第35-37页
        3.1.2 平面镜的研制第37页
    3.2 微型迈克尔逊激光干涉仪第37-39页
    3.3 待测球的装配第39-40页
        3.3.1 微测球的制作第39-40页
        3.3.2 待测球的安装第40页
    3.4 旋转结构第40-41页
    3.5 整体结构第41-46页
        3.5.1 信号处理电路第43-44页
        3.5.2 信号采集配置第44-45页
        3.5.3 软件系统设计第45-46页
    3.6 测量半径变化值装置第46-47页
    3.7 本章小结第47-48页
第四章 测量实验第48-67页
    4.1 迈克尔逊激光干涉仪性能第48页
    4.2 校准迈克尔逊激光干涉仪第48-51页
    4.3 圆度测量实验第51-63页
        4.3.1 直径变化值第51-55页
        4.3.2 半径变化值第55-63页
    4.4 误差分析第63-66页
        4.4.1 对比光学测量方法第63-64页
        4.4.2 接触力的影响第64页
        4.4.3 不确定度分析第64-66页
    4.5 本章小结第66-67页
第五章 总结与展望第67-69页
    5.1 研究总结第67页
    5.2 工作展望第67-69页
参考文献第69-72页
攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况第72页

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