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化学气相沉积电加热炉的设计与加热过程分析

摘要第5-6页
abstract第6-7页
第1章 绪论第10-15页
    1.1 课题研究的目的与意义第10页
    1.2 高温炉的分类第10-11页
    1.3 国内外研究现状第11-13页
        1.3.1 电阻加热方式第12页
        1.3.2 火焰加热方式第12-13页
        1.3.3 高频感应加热方式第13页
    1.4 本论文的研究内容第13-15页
第2章 高温电加热炉的总体方案与关键技术第15-31页
    2.1 高温电加热炉的总体方案第15页
    2.2 系统的设计指标要求第15-16页
    2.3 高温炉的结构设计第16-21页
        2.3.1 外壳体的结构设计第16-17页
        2.3.2 保温层的设计第17-18页
        2.3.3 耐火层的选材第18-19页
        2.3.4 发热体的设计第19-21页
    2.4 电阻加热器的温控系统第21-30页
        2.4.1 高温炉的温度控制第21-26页
        2.4.2 温度检测系统的选择第26-29页
        2.4.3 实验室使用的温度监测器件第29-30页
    2.5 本章小结第30-31页
第3章 加热炉的温度分布仿真第31-49页
    3.1 问题的提出第31页
    3.2 ANSYS软件介绍第31-32页
    3.3 高温炉的热量传输第32-35页
        3.3.1 热量传递的三种方式第32-34页
        3.3.2 高温炉内部各部件之间的传热第34-35页
    3.4 发热体的温度分布仿真第35-42页
        3.4.1 高温下不同参数对发热体性能的影响第36页
        3.4.2 温度分布模拟第36-42页
    3.5 发热体直径变化对温度分布的影响第42-46页
    3.6 杂质对发热体的影响第46-48页
    3.7 本章小结第48-49页
第4章 高温电加热炉性能测试实验第49-54页
    4.1 温度调节控制第49页
    4.2 电阻加热炉温度特性测试第49-53页
    4.3 本章小结第53-54页
第5章 基于该电加热炉的预制棒制备工艺第54-60页
    5.1 化学气相沉积原理第54-55页
    5.2 预制棒的制作过程第55-59页
    5.3 本章小结第59-60页
结论第60-61页
参考文献第61-65页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果第65-66页
致谢第66页

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