化学气相沉积电加热炉的设计与加热过程分析
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第10页 |
| 1.2 高温炉的分类 | 第10-11页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3.1 电阻加热方式 | 第12页 |
| 1.3.2 火焰加热方式 | 第12-13页 |
| 1.3.3 高频感应加热方式 | 第13页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 高温电加热炉的总体方案与关键技术 | 第15-31页 |
| 2.1 高温电加热炉的总体方案 | 第15页 |
| 2.2 系统的设计指标要求 | 第15-16页 |
| 2.3 高温炉的结构设计 | 第16-21页 |
| 2.3.1 外壳体的结构设计 | 第16-17页 |
| 2.3.2 保温层的设计 | 第17-18页 |
| 2.3.3 耐火层的选材 | 第18-19页 |
| 2.3.4 发热体的设计 | 第19-21页 |
| 2.4 电阻加热器的温控系统 | 第21-30页 |
| 2.4.1 高温炉的温度控制 | 第21-26页 |
| 2.4.2 温度检测系统的选择 | 第26-29页 |
| 2.4.3 实验室使用的温度监测器件 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 加热炉的温度分布仿真 | 第31-49页 |
| 3.1 问题的提出 | 第31页 |
| 3.2 ANSYS软件介绍 | 第31-32页 |
| 3.3 高温炉的热量传输 | 第32-35页 |
| 3.3.1 热量传递的三种方式 | 第32-34页 |
| 3.3.2 高温炉内部各部件之间的传热 | 第34-35页 |
| 3.4 发热体的温度分布仿真 | 第35-42页 |
| 3.4.1 高温下不同参数对发热体性能的影响 | 第36页 |
| 3.4.2 温度分布模拟 | 第36-42页 |
| 3.5 发热体直径变化对温度分布的影响 | 第42-46页 |
| 3.6 杂质对发热体的影响 | 第46-48页 |
| 3.7 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 高温电加热炉性能测试实验 | 第49-54页 |
| 4.1 温度调节控制 | 第49页 |
| 4.2 电阻加热炉温度特性测试 | 第49-53页 |
| 4.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 基于该电加热炉的预制棒制备工艺 | 第54-60页 |
| 5.1 化学气相沉积原理 | 第54-55页 |
| 5.2 预制棒的制作过程 | 第55-59页 |
| 5.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
