| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 表面减磨耐磨薄膜的发展 | 第9-14页 |
| 1.1.1 薄膜摩擦学机理 | 第9-10页 |
| 1.1.2 固体润滑简介 | 第10-14页 |
| 1.2 MoS_2薄膜的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 MoS_2固体润滑薄膜制备技术 | 第15-16页 |
| 1.4 论文研究的目的与意义 | 第16-17页 |
| 1.5 论文研究的内容与技术路线 | 第17-19页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第17页 |
| 1.5.2 技术路线 | 第17-19页 |
| 2 薄膜制备与测试方法 | 第19-27页 |
| 2.1 镀膜前预处理及复合薄膜的制备 | 第19-20页 |
| 2.1.1 镀膜前预处理 | 第19-20页 |
| 2.1.2 复合薄膜的制备 | 第20页 |
| 2.2 复合薄膜的微观结构表征 | 第20-24页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD)分析 | 第21-22页 |
| 2.2.2 原子力显微镜(AFM)观察与分析 | 第22页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM)观察与分析 | 第22-23页 |
| 2.2.4 X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第23页 |
| 2.2.5 透射电子显微镜(TEM)观察与分析 | 第23页 |
| 2.2.6 拉曼光谱分析 | 第23-24页 |
| 2.3 复合薄膜的性能表征 | 第24-27页 |
| 2.3.1 纳米压入测试 | 第24页 |
| 2.3.2 摩擦磨损试验 | 第24-25页 |
| 2.3.3 结合强度试验 | 第25-27页 |
| 3 高氮气流量制备的Mo-S-N复合薄膜的微观结构及力学性能研究 | 第27-35页 |
| 3.1 微观组织结构分析 | 第27-32页 |
| 3.1.1 物相结构分析 | 第27页 |
| 3.1.2 表面粗糙度分析 | 第27-28页 |
| 3.1.3 表面和截面形貌分析 | 第28-31页 |
| 3.1.4 复合薄膜化合价态(XPS)分析 | 第31-32页 |
| 3.2 力学性能分析 | 第32-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-35页 |
| 4 低氮气流量制备的Mo-S-N复合薄膜的微观结构及力学性能研究 | 第35-45页 |
| 4.1 微观组织结构分析 | 第35-41页 |
| 4.1.1 物相结构分析 | 第35-36页 |
| 4.1.2 表面和截面形貌分析 | 第36-37页 |
| 4.1.3 复合薄膜化合价态(XPS)分析 | 第37-38页 |
| 4.1.4 微观组织分析 | 第38-41页 |
| 4.2 力学性能分析 | 第41-43页 |
| 4.2.1 硬度及弹性模量分析 | 第41-42页 |
| 4.2.2 膜基结合强度分析 | 第42-43页 |
| 4.3 本章小结 | 第43-45页 |
| 5 Mo-S-N复合薄膜摩擦磨损性能研究 | 第45-57页 |
| 5.1 高氮气流量下制备的Mo-S-N复合薄膜的摩擦学性能 | 第45-46页 |
| 5.2 低氮气流量下制备的Mo-S-N复合薄膜的摩擦学性能 | 第46-54页 |
| 5.2.1 Mo-S-N复合薄膜在不同载荷下的摩擦磨损 | 第46-51页 |
| 5.2.2 Mo-S-N复合薄膜在高温下的摩擦磨损 | 第51-54页 |
| 5.3 Mo-S-N复合薄膜的性能分析及摩擦磨损机制讨论 | 第54-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 6 结论 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
