| 摘要 | 第7-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| Acknowledgements | 第10-14页 |
| 1 Introduction | 第14-20页 |
| 2 Overview | 第20-42页 |
| 2.1 Background | 第20-26页 |
| 2.1.1 Capacitively coupled chlorine discharge | 第20-23页 |
| 2.1.2 Dual-frequency capacitively coupled discharge | 第23-26页 |
| 2.2 PIC/MCC simulation | 第26-31页 |
| 2.3 Research objectives | 第31-42页 |
| 2.3.1 Code development | 第31-33页 |
| 2.3.2 Simulation method | 第33-35页 |
| 2.3.3 Single- and dual-frequency capacitively coupled chlorine discharges | 第35-42页 |
| 3 Chlorine specific parameters | 第42-58页 |
| 3.1 Reaction set | 第44页 |
| 3.2 Cross sections | 第44-58页 |
| 4 Single-frequency capacitively coupled chlorine discharge | 第58-96页 |
| 4.1 Comparison with measurements | 第58-63页 |
| 4.2 Voltage driven capacitively coupled chlorine discharge | 第63-78页 |
| 4.2.1 Effect of gas pressure | 第64-78页 |
| 4.3 Current driven capacitively coupled chlorine discharge | 第78-96页 |
| 4.3.1 Effect of driving current | 第83-87页 |
| 4.3.2 Effect of driving frequency | 第87-92页 |
| 4.3.3 Effect of secondary electrons | 第92-96页 |
| 5 Dual-frequency capacitively coupled chlorine discharge | 第96-110页 |
| 5.1 Effect of low-frequency current | 第97-104页 |
| 5.2 Effect of secondary electrons | 第104-107页 |
| 5.3 Spatial ion energy and angular distributions | 第107-110页 |
| 6 Conclusions and future work | 第110-114页 |
| 6.1 Conclusions | 第110-112页 |
| 6.2 Limitations | 第112-113页 |
| 6.3 Future work | 第113-114页 |
| A Symbols and abbreviations | 第114-118页 |
| Bibliography | 第118-132页 |
