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电极材料改性对低密度聚乙烯中空间电荷的影响

摘要第3-4页
abstract第4-5页
第一章 文献综述第9-22页
    1.1 前言第9-10页
        1.1.1 聚乙烯第9页
        1.1.2 铜第9页
        1.1.3 半导体硅片第9-10页
    1.2 镀膜方法介绍第10-16页
        1.2.1 真空蒸发镀膜第10-12页
            1.2.1.1 原理第10-11页
            1.2.1.2 蒸发过程中的真空条件第11页
            1.2.1.3 真空蒸发镀膜法的优缺点第11页
            1.2.1.4 蒸发源第11-12页
        1.2.2 离子束溅射第12页
        1.2.3 磁控溅射第12-13页
        1.2.4 双层辉光等离子体渗金属介绍第13-16页
            1.2.4.1 等离子体知识第14-15页
            1.2.4.2 技术介绍第15-16页
        1.2.5 激光化学沉积第16页
    1.3 空间电荷的测量方法第16-20页
        1.3.1 空间电荷测试方法第16-19页
            1.3.1.1 电声脉冲法第16页
            1.3.1.2 热脉冲法第16-17页
            1.3.1.3 压力脉冲法第17页
            1.3.1.4 热刺激电流法第17-19页
        1.3.2 空间电荷的影响因素第19-20页
    1.4 功函数第20-21页
        1.4.1 功函数的分类第20页
        1.4.2 功函数的作用第20页
        1.4.3 功函数的测量方法第20页
        1.4.4 影响功函数的因素第20-21页
    1.5 本试验的可行性理论分析及立题依据第21-22页
第二章 Cu电极的表面改性第22-34页
    2.1 实验仪器及试剂第22页
    2.2 PCVD镀膜原理第22-24页
    2.3 实验步骤第24-25页
    2.4 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)第25-28页
    2.5 铜片镀膜的EDS结果第28-30页
    2.6 镀膜铜片的XPS结果第30-31页
    2.7 功函数结果第31-33页
        2.7.1 表面功函数测试仪第31-33页
        2.7.2 测试步骤第33页
        2.7.3 测试结果第33页
    2.8 本章小结第33-34页
第三章 电极材料对聚乙烯内空间电荷分布的影响第34-57页
    3.1 PulsedElectro-Acoustic(PEA)测试第34-36页
        3.1.1 PEA空间电荷测量仪第34-35页
        3.1.2 PEA空间电荷测量仪测试步骤第35-36页
    3.2 PEA测试结果第36-56页
        3.2.1 电极表面改性对LDPE中空间电荷的影响第36-42页
        3.2.2 半导电层对LDPE中空间电荷的影响第42-49页
        3.2.3 不同场强对LDPE中空间电荷的影响第49-56页
    3.3 本章小结第56-57页
第四章 低密度聚乙烯的热刺激电流分析第57-77页
    4.1 LDPE的TSC测试步骤第57-58页
        4.1.1 电荷注入工艺过程第57页
        4.1.2 TSC测量系统使用方法第57-58页
    4.2 TSC测试步骤结果第58-75页
        4.2.1 电极材料改性对LDPE热刺激释放电流的影响第58-65页
        4.2.2 半导电层对LDPE热刺激释放电流的影响第65-71页
        4.2.3 不同场强对LDPE中空间电荷的影响第71-75页
    4.3 本章小结第75-77页
结论第77-79页
参考文献第79-85页
致谢第85-87页
攻读学位期间发表的学术论文目录第87-91页

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