| 摘要 | 第11-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-28页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 局域表面等离子体共振效应(LSPR) | 第15-18页 |
| 1.2.1 产生LSPR效应的物理机理 | 第15页 |
| 1.2.2 表面等离子体共振(SPR)的种类 | 第15-16页 |
| 1.2.3 LSPR效应的影响因素 | 第16-18页 |
| 1.3 贵金属纳米粒子的制备方法 | 第18-19页 |
| 1.4 LSPR效应的应用 | 第19-20页 |
| 1.4.1 基于LSPR效应的生物传感器 | 第19-20页 |
| 1.4.2 基于表面增强拉曼散射(SERS)效应的生物传感器 | 第20页 |
| 1.5 类金刚石(DLC)薄膜的组成与结构 | 第20-22页 |
| 1.6 DLC薄膜的制备方法与生长模型 | 第22-25页 |
| 1.6.1 DLC制备方法 | 第22页 |
| 1.6.2 射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD) | 第22-23页 |
| 1.6.3 DLC薄膜的生长模型 | 第23-25页 |
| 1.7 DLC膜的应用 | 第25-27页 |
| 1.7.1 DLC薄膜在机械加工的应用 | 第25-26页 |
| 1.7.2 DLC薄膜在光学和微电子领域的应用 | 第26页 |
| 1.7.3 DLC薄膜在生物医学上的应用 | 第26-27页 |
| 1.8 本文研究内容 | 第27-28页 |
| 第二章 实验方法与原理 | 第28-36页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 Ag纳米粒子的制备与表征 | 第28-29页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第28-29页 |
| 2.2.2 Ag纳米粒子的制备 | 第29页 |
| 2.2.3 Ag纳米粒子合成方法 | 第29页 |
| 2.3 制备超薄DLC膜 | 第29-31页 |
| 2.3.1 实验材料 | 第30页 |
| 2.3.2 沉积DLC薄膜的基片处理 | 第30页 |
| 2.3.3 在不同基片上沉积DLC薄膜 | 第30-31页 |
| 2.4 RF PECVD设备及其原理 | 第31-34页 |
| 2.4.1 RF PECVD设备 | 第31页 |
| 2.4.2 RF PECVD设备的工作原理 | 第31-33页 |
| 2.4.3 RF PECVD法的主要工艺参数 | 第33-34页 |
| 2.5 RF PECVD设备沉积超薄DLC膜 | 第34-35页 |
| 2.6 超薄DLC膜性能测试方法 | 第35-36页 |
| 第三章 超薄DLC膜制备工艺研究 | 第36-52页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 不同沉积条件下DLC薄膜的沉积速率 | 第36-39页 |
| 3.3 超薄DLC膜的拉曼光谱和XPS分析 | 第39-41页 |
| 3.4 超薄DLC膜的表面形貌分析 | 第41-47页 |
| 3.4.1 不同C源气体流量制备超薄DLC膜的形貌分析 | 第42-43页 |
| 3.4.2 不同极板间距制备超薄DLC膜的形貌分析 | 第43-45页 |
| 3.4.3 不同沉积时间超薄DLC膜的形貌分析 | 第45-47页 |
| 3.5 超薄DLC膜的光透过率与摩擦性能分析 | 第47-49页 |
| 3.5.1 超薄DLC膜的光透过率分析 | 第47-48页 |
| 3.5.2 超薄DLC膜的摩擦性能分析 | 第48-49页 |
| 3.6 在不同基片上沉积超薄DLC膜的形貌分析 | 第49-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 超薄DLC膜/Ag纳米粒子LSPR界面传感性能 | 第52-60页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的表面形貌 | 第52-55页 |
| 4.2.1 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的SEM形貌分析 | 第52-53页 |
| 4.2.2 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的AFM形貌分析 | 第53-55页 |
| 4.3 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的紫外可见光谱及灵敏度分析 | 第55-59页 |
| 4.3.1 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的紫外可见光谱分析 | 第55-56页 |
| 4.3.2 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的灵敏度分析 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 超薄DLC膜/Ag纳米粒子与Au@Au灵敏度分析 | 第60-65页 |
| 5.1 核壳结构的LSPR效应 | 第60-61页 |
| 5.2 Au@Ag结构与超薄DLC/Ag纳米粒子的灵敏度对比 | 第61-62页 |
| 5.3 Au@Ag结构与超薄DLC/Ag纳米粒子的LSPR机理 | 第62-64页 |
| 5.3.1 Au@Ag结构的LSPR机理 | 第62-63页 |
| 5.3.2 超薄DLC膜/Ag纳米粒子的LSPR机理 | 第63-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论 | 第65-67页 |
| 6.1 本文的主要结论 | 第65-66页 |
| 6.2 本文的主要创新点 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第74-75页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第75页 |
