| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 类金刚石薄膜的结构及分类 | 第11-12页 |
| 1.2 类金刚石薄膜的制备方法 | 第12-14页 |
| 1.2.1 物理气相沉积技术 | 第12-13页 |
| 1.2.2 化学气相沉积技术 | 第13-14页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的性质和应用 | 第14-16页 |
| 1.4 类金刚石薄膜存在的问题 | 第16页 |
| 1.5 元素掺杂DLC复合薄膜研究现状 | 第16-19页 |
| 1.5.1 金属元素掺杂DLC复合薄膜 | 第17页 |
| 1.5.2 非金属元素掺杂DLC复合薄膜 | 第17-18页 |
| 1.5.3 多元素共掺DLC复合薄膜 | 第18-19页 |
| 1.6 本论文研究目的、主要内容及意义 | 第19-21页 |
| 第二章 类金刚石薄膜的制备工艺及表征 | 第21-25页 |
| 2.1 薄膜制备装置 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜制备工艺 | 第22-23页 |
| 2.3 类金刚石复合薄膜的表征方法 | 第23-25页 |
| 2.3.1 薄膜的结构和成分表征 | 第23-24页 |
| 2.3.2 薄膜的表面形貌表征 | 第24页 |
| 2.3.3 薄膜的内应力分析 | 第24页 |
| 2.3.4 薄膜的硬度和韧性分析 | 第24-25页 |
| 第三章 Al-DLC和Ti-DLC复合薄膜的制备及力学性能研究 | 第25-33页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 纯DLC薄膜及金属掺杂-DLC复合薄膜的制备及分析 | 第25-30页 |
| 3.2.1 纯DLC薄膜和金属掺杂DLC薄膜的制备 | 第25-26页 |
| 3.2.3 纯DLC薄膜和金属掺杂DLC薄膜的微观结构分析 | 第26-28页 |
| 3.2.4 纯DLC薄膜和金属掺杂DLC薄膜的表面形貌分析 | 第28-29页 |
| 3.2.5 纯DLC薄膜和金属掺杂DLC薄膜的力学性能分析 | 第29-30页 |
| 3.3 本章小结 | 第30-33页 |
| 第四章 (N,Ti)-DLC复合薄膜的制备及力学性能研究 | 第33-49页 |
| 4.1 引言 | 第33页 |
| 4.2 (N,Ti)-DLC复合薄膜的制备及分析 | 第33-47页 |
| 4.2.1 (N,Ti)-DLC复合薄膜的制备 | 第33-34页 |
| 4.2.2 (N,Ti)-DLC复合薄膜的微观结构分析 | 第34-37页 |
| 4.2.3 (N,Ti)-DLC复合薄膜的成分分析 | 第37-43页 |
| 4.2.4 (N,Ti)-DLC复合薄膜的表面形貌分析 | 第43-45页 |
| 4.2.5 (N,Ti)-DLC复合薄膜的力学性能分析 | 第45-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 (N,Al)-DLC复合薄膜制备及力学性能研究 | 第49-63页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 (N,Al)-DLC复合薄膜的制备及分析 | 第49-61页 |
| 5.2.1 (N,Al)-DLC复合薄膜的制备 | 第49-50页 |
| 5.2.2 (N,Al)-DLC复合薄膜的微观结构分析 | 第50-51页 |
| 5.2.3 (N,Al)-DLC复合薄膜的成分分析 | 第51-57页 |
| 5.2.4 (N,Al)-DLC复合薄膜的表面形貌分析 | 第57-58页 |
| 5.2.5 (N,Al)-DLC复合薄膜的力学性能分析 | 第58-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 攻读硕士期间的学术成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
