| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第16-36页 |
| 1.1. 平面波导技术概述 | 第16-18页 |
| 1.2. 硅基光子学的发展 | 第18-25页 |
| 1.2.1. 硅基光子学在光互连领域的应用 | 第18-23页 |
| 1.2.2. 硅基光子学在光传感领域的应用 | 第23-25页 |
| 1.3. 本论文的意义和工作 | 第25-29页 |
| 参考文献 | 第29-36页 |
| 第2章 基于微环的硅光子基本功能结构 | 第36-62页 |
| 2.1. 微环谐振腔概述 | 第36-45页 |
| 2.1.1. 平面光波导概述 | 第36-38页 |
| 2.1.2. 微环谐振腔基本结构 | 第38-39页 |
| 2.1.3. 转移矩阵法 | 第39-40页 |
| 2.1.4. 微环谐振腔的主要性能参数 | 第40-42页 |
| 2.1.5. 微环谐振腔损耗的分析 | 第42-44页 |
| 2.1.6. 耦合系数的计算 | 第44-45页 |
| 2.2. 微环谐振腔的可调特性 | 第45-49页 |
| 2.2.1. 热光调谐 | 第45-48页 |
| 2.2.2. 等离子体色散调谐 | 第48-49页 |
| 2.3. 祸合光栅的设计和制作 | 第49-54页 |
| 2.3.1. 耦合光栅的设计 | 第49-52页 |
| 2.3.2. 耦合光栅的制作和测试 | 第52-54页 |
| 2.4. 小结 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 第3章 基于微环结构的可重构光学链路 | 第62-84页 |
| 3.1. 引言 | 第62-64页 |
| 3.2. 器件的设计与制作 | 第64-73页 |
| 3.2.1. 波导结构的设计 | 第64-65页 |
| 3.2.2. 微环调制器的设计 | 第65-67页 |
| 3.2.3. 微环滤波器的设计 | 第67-70页 |
| 3.2.4. 二阶串联微环上下路滤波器的设计 | 第70-72页 |
| 3.2.5. 热光和电光电极的设计 | 第72-73页 |
| 3.3. 器件的制作 | 第73-75页 |
| 3.3.1. 版图的设计 | 第73-74页 |
| 3.3.2. 器件制作的工艺流程 | 第74-75页 |
| 3.4. 基于微环的可重构光学链路芯片的测试 | 第75-81页 |
| 3.5. 小结 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-84页 |
| 第4章 基于微环结构的集成光学传感器 | 第84-114页 |
| 4.1. 引言 | 第84-86页 |
| 4.2. 微环传感器概述 | 第86-90页 |
| 4.2.1. 微环传感器的灵敏度 | 第86-89页 |
| 4.2.2. 微环传感器的分辨率 | 第89-90页 |
| 4.3. 全通滤波型硅基微环传感器的制作和测试 | 第90-94页 |
| 4.3.1. 全通滤波型硅基微环传感器的制作 | 第90-91页 |
| 4.3.2. 全通滤波型硅基微环传感器的测试 | 第91-94页 |
| 4.4. 眼型嵌套微环传感器 | 第94-109页 |
| 4.4.1. 眼型嵌套微环结构的理论模型 | 第95-99页 |
| 4.4.2. 眼型嵌套微环传感器的制作和测试 | 第99-103页 |
| 4.4.3. 讨论 | 第103-107页 |
| 4.4.4. 眼型嵌套微环温度传感实验 | 第107-109页 |
| 4.5. 小结 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-114页 |
| 第5章 用于波长调制型传感的微环解调器 | 第114-128页 |
| 5.1. 引言 | 第114-115页 |
| 5.2. 用于波长移动型传感的微环解调器的工作原理 | 第115-116页 |
| 5.3. 对光纤布拉格光栅温度传感器的解调 | 第116-125页 |
| 5.3.1. 光纤布拉格光栅温度传感器特性测试 | 第116-119页 |
| 5.3.2. 热光可调微环滤波器的制作 | 第119页 |
| 5.3.3. 热光可调微环滤波器的测试 | 第119-121页 |
| 5.3.4. 对FBG温度传感器的解调测试 | 第121-124页 |
| 5.3.5. 讨论 | 第124-125页 |
| 5.4. 对片上集成传感器的解调 | 第125-126页 |
| 5.5. 小结 | 第126-127页 |
| 参考文献 | 第127-128页 |
| 第6章 总结与展望 | 第128-131页 |
| 6.1. 总结 | 第128-129页 |
| 6.2. 存在的不足与展望 | 第129-131页 |
| 作者个人简历 | 第131页 |
| 攻读博士学位期间主要的研究成果 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133页 |