梳齿式微机械加速度计加工工艺研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
第一章 绪论	第9-12页
1.1 课题研究背景及意义	第9-10页
1.2 课题研究主要内容	第10-12页
第二章 梳齿式微机械加速度计基本原理及结构设计	第12-27页
2.1 加速度计基本原理	第12-13页
2.2 梳齿电容式加速度计原理	第13-15页
2.3 梳齿式微机械加速度计表头结构设计	第15-24页
2.4 梳齿电容式微机械加速度计静电反馈分析	第24-25页
2.5 整体结构设计	第25-26页
2.6 本章小结	第26-27页
第三章 梳齿式微机械加速度计表头加工工艺研究	第27-47页
3.1 光刻工艺	第28-32页
3.2 深硅刻蚀(ICP)工艺	第32-38页
3.3 结构释放工艺	第38-45页
3.4 本章小结	第45-47页
第四章 梳齿式微机械加速度计测试	第47-54页
4.1 梳齿式微机械加速度计频率SEM测试	第47-48页
4.2 梳齿式微机械加速度计电路测试	第48-53页
4.3 本章小结	第53-54页
第五章 总结与展望	第54-56页
5.1 总结	第54-55页
5.2 展望	第55-56页
致谢	第56-57页
参考文献	第57-61页
附录1 标准工艺流程参数	第61-62页
附录2 硕士期间完成的论文	第62页