| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 软磁合金材料及其应用 | 第12-15页 |
| 1.1.1 软磁合金材料 | 第12-13页 |
| 1.1.2 软磁合金薄膜材料 | 第13-15页 |
| 1.2 非晶软磁合金薄膜的主要磁能量 | 第15-18页 |
| 1.2.1 感生磁各向异性能 | 第15-16页 |
| 1.2.2 退磁场与退磁场能 | 第16页 |
| 1.2.3 磁应力能 | 第16-17页 |
| 1.2.4 交换能 | 第17页 |
| 1.2.5 外场能 | 第17-18页 |
| 1.3 非晶软磁合金薄膜的国内外研究现状 | 第18-22页 |
| 1.3.1 基于薄膜组分的研究 | 第19页 |
| 1.3.2 基于薄膜晶体结构的研究 | 第19-20页 |
| 1.3.3 基于薄膜微观结构的研究 | 第20-21页 |
| 1.3.4 可调频软磁合金薄膜的研究 | 第21页 |
| 1.3.5 薄膜微磁学仿真研究 | 第21-22页 |
| 1.4 本文的主要贡献与创新 | 第22-23页 |
| 1.5 本论文的结构安排 | 第23-25页 |
| 第二章 基本理论及分析方法 | 第25-45页 |
| 2.1 薄膜各向异性的分析 | 第25-30页 |
| 2.1.1 薄膜单轴各向异性的分析 | 第25-27页 |
| 2.1.2 薄膜形状各向异性的分析 | 第27-30页 |
| 2.2 薄膜的微波磁共振基本原理 | 第30-37页 |
| 2.2.1 薄膜动态磁导率的推导 | 第30-33页 |
| 2.2.2 薄膜关键参数对动态磁导率的影响 | 第33-36页 |
| 2.2.3 薄膜有效各向异性场方向与动态磁导率的关系 | 第36-37页 |
| 2.3 薄膜静磁特性的分析 | 第37-40页 |
| 2.4 微磁学仿真软件OOMMF | 第40-42页 |
| 2.5 薄膜动态磁导率的短路微带线测试方法 | 第42-43页 |
| 2.5.1 短路微带线的结构 | 第42页 |
| 2.5.2 短路微带线的外加场测试 | 第42-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 薄膜厚度对薄膜各向异性及动态磁性能的影响 | 第45-59页 |
| 3.1 非晶软磁薄膜制备工艺 | 第45-49页 |
| 3.2 膜厚变化对薄膜动态磁性能的影响 | 第49-53页 |
| 3.2.1 薄膜动态磁性能随厚度的变化 | 第49-52页 |
| 3.2.2 薄膜共振峰强度与剩磁的关系 | 第52-53页 |
| 3.3 膜厚变化对薄膜各向异性的影响 | 第53-57页 |
| 3.3.1 膜厚与内应力的关系 | 第53-54页 |
| 3.3.2 膜厚对畴壁类型的影响 | 第54-56页 |
| 3.3.3 OOMMF对畴壁结构的仿真分析 | 第56-57页 |
| 3.4 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 Ta缓冲层对薄膜各向异性及动态磁性能的影响 | 第59-69页 |
| 4.1 多层薄膜中内应力与磁性能的关系 | 第59-63页 |
| 4.1.1 温度变化对多层薄膜内应力的影响 | 第59-60页 |
| 4.1.2 内应力对薄膜各向异性及动态磁性能的影响 | 第60-63页 |
| 4.2 Ta层引入后薄膜动态磁性能的变化 | 第63-67页 |
| 4.2.1 具有Ta层的薄膜的制备工艺 | 第63页 |
| 4.2.2 室温下薄膜动态磁性能随Ta层厚度的变化 | 第63-64页 |
| 4.2.3 薄膜动态磁性能随温度的变化 | 第64-67页 |
| 4.3 Ta层引入后薄膜各向异性的变化 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 退火对薄膜各向异性及动态磁性能的影响 | 第69-83页 |
| 5.1 不同结构软磁薄膜的差异 | 第69-71页 |
| 5.1.1 连续薄膜与颗粒薄膜的差异 | 第69-70页 |
| 5.1.2 非晶薄膜与晶体薄膜的差异 | 第70-71页 |
| 5.2 退火对非晶薄膜结构的影响 | 第71-76页 |
| 5.2.1 非晶薄膜的退火工艺 | 第71页 |
| 5.2.2 退火对非晶薄膜结晶度的影响 | 第71-72页 |
| 5.2.3 退火对非晶薄膜连续性的影响 | 第72-76页 |
| 5.3 退火对薄膜磁性能的影响 | 第76-81页 |
| 5.3.1 退火对薄膜各向异性的影响 | 第76-78页 |
| 5.3.2 退火对薄膜动态磁性能的影响 | 第78-81页 |
| 5.4 本章小结 | 第81-83页 |
| 第六章 薄膜微区结构对薄膜各向异性及动态磁性能的影响 | 第83-100页 |
| 6.1 反点阵薄膜的特性及制备 | 第83-85页 |
| 6.1.1 反点阵薄膜的结构特性 | 第83页 |
| 6.1.2 反点阵薄膜的制备 | 第83-85页 |
| 6.2 微区结构对薄膜各向异性的影响 | 第85-90页 |
| 6.2.1 反点阵薄膜的微区各向异性 | 第85-86页 |
| 6.2.2 反点阵薄膜的宏观有效各向异性场 | 第86-90页 |
| 6.3 反点阵薄膜的动态磁性能 | 第90-95页 |
| 6.3.1 条纹薄膜的动态磁性能 | 第90-92页 |
| 6.3.2 圆孔反点阵的动态磁性能 | 第92-93页 |
| 6.3.3 方孔反点阵薄膜的动态磁性能 | 第93-95页 |
| 6.4 反点阵薄膜的微磁学仿真 | 第95-98页 |
| 6.4.1 方孔反点阵薄膜的微磁学仿真 | 第95-98页 |
| 6.4.2 圆孔反点阵薄膜的微磁学仿真 | 第98页 |
| 6.5 本章小结 | 第98-100页 |
| 第七章 全文主要结论与展望 | 第100-105页 |
| 7.1 主要结论 | 第100-102页 |
| 7.2 研究工作展望 | 第102-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-115页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第115-116页 |
