| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 实验方法 | 第8-9页 |
| 1.2.2 理论计算方法 | 第9-11页 |
| 1.2.3 模拟方法 | 第11-12页 |
| 1.3 论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 掺杂单晶硅纳米结构杨氏模量与谐振频率的理论模型 | 第14-30页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 非谐Keating形变势 | 第14-15页 |
| 2.3 P掺杂单晶硅纳米薄膜的杨氏模量 | 第15-20页 |
| 2.4 P掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率 | 第20-22页 |
| 2.5 分析与讨论 | 第22-28页 |
| 2.5.1 温度对P掺杂单晶硅薄膜杨氏模量的影响 | 第22-25页 |
| 2.5.2 温度对P掺杂单晶硅纳米梁谐振频率的影响 | 第25-27页 |
| 2.5.3 宽度与厚度对掺杂单晶硅纳米梁谐振频率的影响 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 掺杂单晶硅纳米梁谐振频率的分子动力学模拟 | 第30-41页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 构建模型 | 第30-31页 |
| 3.3 模拟结果与讨论 | 第31-39页 |
| 3.3.1 P替代掺杂单晶硅纳米梁的谐振频率的分子动力学模拟 | 第32-35页 |
| 3.3.2 B替代掺杂硅单晶纳米梁的分子动力学模拟 | 第35-38页 |
| 3.3.3 P掺杂与B掺杂模拟结果的比较与分析 | 第38-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 分子动力学模拟硅纳米梁谐振频率的温度效应 | 第41-50页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 建立模型 | 第41-42页 |
| 4.3 模拟结果 | 第42-46页 |
| 4.3.1 P掺杂单晶硅纳米梁谐振频率的温度效应 | 第42-44页 |
| 4.3.2 B掺杂单晶硅纳米梁谐振频率的温度效应 | 第44-46页 |
| 4.4 理论计算与模拟结果的比较 | 第46-48页 |
| 4.4.1 P掺杂硅梁谐振频率的理论计算与模拟结果的比较 | 第46-47页 |
| 4.4.2 P与B掺杂模拟结果的对比 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 总结 | 第50-51页 |
| 5.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 发表文章目录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
