| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 课题研究背景及其价值 | 第11-13页 |
| 1.2 氮化碳材料的原子价键结构 | 第13-14页 |
| 1.2.1 CN_x薄膜的成键结构 | 第13页 |
| 1.2.2 CN_x薄膜的价键结构理论 | 第13-14页 |
| 1.2.3 CN_x材料的理论计算 | 第14页 |
| 1.3 氮化碳材料的合成意义 | 第14-15页 |
| 1.4 氮化碳材料的研究现状 | 第15-22页 |
| 1.4.1 高温高压法(HTHP) | 第16页 |
| 1.4.2 化学气相沉积法(CVD) | 第16-17页 |
| 1.4.3 离子注入法(Ion beam implantation) | 第17-18页 |
| 1.4.4 反应溅射法(Reactive Sputtering) | 第18-20页 |
| 1.4.5 电化学沉积技术(Electrodeposition Technique) | 第20页 |
| 1.4.6 脉冲激光沉积技术(PLD) | 第20-21页 |
| 1.4.7 CN_x薄膜的表征技术 | 第21-22页 |
| 1.5 氮化碳材料研究存在的问题和不足 | 第22-23页 |
| 1.6 本论文的研究基础和创新点 | 第23-26页 |
| 1.6.1 PLD过程中各因素的相关性研究 | 第23-25页 |
| 1.6.2 递进式脉冲激光沉积技术的提出 | 第25-26页 |
| 1.7 本论文的主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 薄膜沉积系统与表征方法 | 第27-37页 |
| 2.1 CN_x薄膜制膜设备及其原理 | 第27-29页 |
| 2.1.1 制膜设备 | 第27页 |
| 2.1.2 制膜原理 | 第27-29页 |
| 2.1.3 等离子体理论 | 第29页 |
| 2.2 靶材和薄膜的制备工艺 | 第29-30页 |
| 2.2.1 靶材的制备工艺 | 第29-30页 |
| 2.2.2 薄膜的制备工艺 | 第30页 |
| 2.3 CN_x薄膜成分结构及其性能的表征方法 | 第30-37页 |
| 2.3.1 薄膜表面形貌分析(SEM) | 第30-31页 |
| 2.3.3 薄膜成分、价键结构分析(XPS) | 第31-33页 |
| 2.3.4 薄膜拉曼结构分析(Raman) | 第33-34页 |
| 2.3.5 膜层-基体结合力测试(Adhesion L_c) | 第34-35页 |
| 2.3.6 薄膜摩擦磨损分析(Friction) | 第35-37页 |
| 第3章 第二代氮化碳薄膜的组织结构与摩擦学性能 | 第37-47页 |
| 3.1 第二代薄膜的制备 | 第37页 |
| 3.2 薄膜的组织结构分析 | 第37-43页 |
| 3.2.1 表面形貌 | 第37-39页 |
| 3.2.2 薄膜的XPS分析 | 第39-42页 |
| 3.2.4 薄膜的Raman光谱分析 | 第42-43页 |
| 3.3 薄膜的性能测试 | 第43-46页 |
| 3.3.1 膜-基结合力测试 | 第43-44页 |
| 3.3.2 薄膜的摩擦学特性 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 第三代氮化碳薄膜的组织结构与摩擦学特性 | 第47-57页 |
| 4.1 靶材和薄膜的制备 | 第47页 |
| 4.2 薄膜的组织结构分析 | 第47-53页 |
| 4.2.1 薄膜的表面形貌 | 第47-48页 |
| 4.2.2 薄膜的XPS分析 | 第48-51页 |
| 4.2.3 薄膜的拉曼光谱分析 | 第51-53页 |
| 4.3 薄膜的摩擦学性能分析 | 第53-55页 |
| 4.3.1 膜-基结合力测试 | 第53页 |
| 4.3.2 薄膜的摩擦学特性分析 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 递进等级对氮化碳薄膜结构和性能的影响 | 第57-65页 |
| 5.1 氮含量变化规律 | 第57-58页 |
| 5.2 价键结构特性 | 第58-62页 |
| 5.2.1 sp~3C—N bond | 第58页 |
| 5.2.2 sp~3C—C bond | 第58-59页 |
| 5.2.3 sp~2C—C bond | 第59-60页 |
| 5.2.4 sp~2C—N bond | 第60页 |
| 5.2.5 sp~2/sp~3 and I_D/I_G | 第60-62页 |
| 5.3 表面粗糙度特性 | 第62页 |
| 5.4 膜-基结合力分析 | 第62-63页 |
| 5.5 摩擦学特性分析 | 第63页 |
| 5.6 本章小结 | 第63-65页 |
| 第6章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 结论 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 硕士学位在读期间参与的科研项目和论文成果 | 第75页 |
