基于衍射光栅的高分辨力位移测量系统研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题背景及研究目的 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状及趋势 | 第10-17页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 发展趋势 | 第16-17页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 反射式衍射光栅测量的理论基础 | 第18-28页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 反射式衍射光栅衍射特性分析 | 第18-22页 |
| 2.2.1 一维光栅衍射场分布 | 第18-19页 |
| 2.2.2 波动光学分析 | 第19-20页 |
| 2.2.3 傅里叶分析 | 第20-22页 |
| 2.3 反射式衍射光栅位移测量基本原理 | 第22-25页 |
| 2.3.1 反射式衍射光栅衍射方程 | 第22-23页 |
| 2.3.2 反射式衍射光栅多普勒分析 | 第23-25页 |
| 2.4 矩阵分析在偏振光学的应用 | 第25-27页 |
| 2.4.1 偏振光的琼斯矢量 | 第25-26页 |
| 2.4.2 光学元件的琼斯矩阵 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 光学传感器设计与分析 | 第28-36页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 光学传感器结构设计 | 第28-29页 |
| 3.3 理论模型分析 | 第29-32页 |
| 3.4 关键元件选取 | 第32-35页 |
| 3.4.1 光栅 | 第32-33页 |
| 3.4.2 干涉检测光路 | 第33-34页 |
| 3.4.3 其他元件 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 对位公差分析 | 第36-47页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 光栅与光学传感器对位分析 | 第36-41页 |
| 4.2.1 常见对位误差 | 第36-37页 |
| 4.2.2 光斑分离对干涉对比度影响 | 第37-38页 |
| 4.2.3 对位误差仿真分析 | 第38-41页 |
| 4.2.4 容差分析 | 第41页 |
| 4.3 光学元件对位分析 | 第41-45页 |
| 4.3.1 Q1 不良对位分析 | 第42-43页 |
| 4.3.2 Q2 不良对位分析 | 第43-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第5章 光栅信号处理方法及软硬件设计 | 第47-59页 |
| 5.1 引言 | 第47页 |
| 5.2 信号误差处理方法 | 第47-52页 |
| 5.2.1 干涉信号主要误差源 | 第47-48页 |
| 5.2.2 三差对测量精度的影响 | 第48-49页 |
| 5.2.3 干涉信号调理及误差补偿 | 第49-52页 |
| 5.3 基于数字采集系统的信号计数及细分系统 | 第52-58页 |
| 5.3.1 计数及细分原理 | 第53-55页 |
| 5.3.2 计数细分程序设计 | 第55-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 性能测试及实验分析 | 第59-70页 |
| 6.1 引言 | 第59页 |
| 6.2 测量系统介绍 | 第59-60页 |
| 6.3 测量系统功能测试 | 第60-68页 |
| 6.3.1 光学传感器功能测试 | 第60-61页 |
| 6.3.2 电路系统功能测试 | 第61-64页 |
| 6.3.3 测量系统整体性能测试 | 第64-68页 |
| 6.4 主要误差源分析 | 第68-69页 |
| 6.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
