摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 绪论 | 第8-18页 |
1.1 课题背景 | 第8页 |
1.2 微细加工技术 | 第8-11页 |
1.2.1 激光微细加工技术 | 第8-9页 |
1.2.2 微细切削加工技术 | 第9-10页 |
1.2.3 LIGA和准LIGA技术 | 第10页 |
1.2.4 微细电火花加工技术 | 第10-11页 |
1.3 微细电解加工原理及特点 | 第11-14页 |
1.3.1 电解加工原理 | 第11-12页 |
1.3.2 电解加工的特点 | 第12-13页 |
1.3.3 法拉第定律 | 第13-14页 |
1.4 微细电解线切割加工技术的研究和发展 | 第14-16页 |
1.5 论文的主要工作 | 第16-18页 |
第2章 微细电解线切割加工系统 | 第18-29页 |
2.1 电解加工中促进电解液循环的方案 | 第18-20页 |
2.1.1 线电极轴向微幅振动方案 | 第18页 |
2.1.2 电解液沿线电极轴向低速冲液方案 | 第18-19页 |
2.1.3 线电极轴向往复微幅运丝方案 | 第19-20页 |
2.2 加工系统的总体方案 | 第20-21页 |
2.3 运动系统 | 第21-22页 |
2.4 线电极系统 | 第22-24页 |
2.5 电解液循环系统 | 第24-25页 |
2.6 压电陶瓷振动系统 | 第25-26页 |
2.7 高频脉冲电源系统 | 第26-27页 |
2.8 运动控制系统 | 第27-28页 |
2.9 本章总结 | 第28-29页 |
第3章 微细电解线切割加工工艺 | 第29-42页 |
3.1 影响加工的因素分析 | 第29页 |
3.2 加工工艺的实验研究 | 第29-41页 |
3.2.1 加工电压对加工间隙的影响 | 第29-31页 |
3.2.2 电解液浓度对加工间隙的影响 | 第31-34页 |
3.2.3 进给速度对加工间隙的影响 | 第34-36页 |
3.2.4 线电极轴向微幅往复运丝对加工间隙的影响 | 第36-38页 |
3.2.5 线电极轴向微幅振动对加工间隙的影响 | 第38-41页 |
3.3 本章总结 | 第41-42页 |
第4章 运用微细电解线切割与电阻滑焊组合工艺制备三维微电极 | 第42-48页 |
4.1 制备三维微电极 | 第42-44页 |
4.2 微细电解加工实验 | 第44-47页 |
4.3 本章总结 | 第47-48页 |
第5章 总结与展望 | 第48-50页 |
5.1 总结 | 第48-49页 |
5.2 展望 | 第49-50页 |
参考文献 | 第50-54页 |
致谢 | 第54页 |