| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第8页 |
| 1.2 微细加工技术 | 第8-11页 |
| 1.2.1 激光微细加工技术 | 第8-9页 |
| 1.2.2 微细切削加工技术 | 第9-10页 |
| 1.2.3 LIGA和准LIGA技术 | 第10页 |
| 1.2.4 微细电火花加工技术 | 第10-11页 |
| 1.3 微细电解加工原理及特点 | 第11-14页 |
| 1.3.1 电解加工原理 | 第11-12页 |
| 1.3.2 电解加工的特点 | 第12-13页 |
| 1.3.3 法拉第定律 | 第13-14页 |
| 1.4 微细电解线切割加工技术的研究和发展 | 第14-16页 |
| 1.5 论文的主要工作 | 第16-18页 |
| 第2章 微细电解线切割加工系统 | 第18-29页 |
| 2.1 电解加工中促进电解液循环的方案 | 第18-20页 |
| 2.1.1 线电极轴向微幅振动方案 | 第18页 |
| 2.1.2 电解液沿线电极轴向低速冲液方案 | 第18-19页 |
| 2.1.3 线电极轴向往复微幅运丝方案 | 第19-20页 |
| 2.2 加工系统的总体方案 | 第20-21页 |
| 2.3 运动系统 | 第21-22页 |
| 2.4 线电极系统 | 第22-24页 |
| 2.5 电解液循环系统 | 第24-25页 |
| 2.6 压电陶瓷振动系统 | 第25-26页 |
| 2.7 高频脉冲电源系统 | 第26-27页 |
| 2.8 运动控制系统 | 第27-28页 |
| 2.9 本章总结 | 第28-29页 |
| 第3章 微细电解线切割加工工艺 | 第29-42页 |
| 3.1 影响加工的因素分析 | 第29页 |
| 3.2 加工工艺的实验研究 | 第29-41页 |
| 3.2.1 加工电压对加工间隙的影响 | 第29-31页 |
| 3.2.2 电解液浓度对加工间隙的影响 | 第31-34页 |
| 3.2.3 进给速度对加工间隙的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.4 线电极轴向微幅往复运丝对加工间隙的影响 | 第36-38页 |
| 3.2.5 线电极轴向微幅振动对加工间隙的影响 | 第38-41页 |
| 3.3 本章总结 | 第41-42页 |
| 第4章 运用微细电解线切割与电阻滑焊组合工艺制备三维微电极 | 第42-48页 |
| 4.1 制备三维微电极 | 第42-44页 |
| 4.2 微细电解加工实验 | 第44-47页 |
| 4.3 本章总结 | 第47-48页 |
| 第5章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 5.1 总结 | 第48-49页 |
| 5.2 展望 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54页 |