| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 光电探测器 | 第8-9页 |
| 1.2 光电探测器的器件仿真 | 第9-10页 |
| 1.3 硅基光互连系统 | 第10-11页 |
| 1.4 本论文结构和工作 | 第11-12页 |
| 第二章 标准CMOS光电探测器基础理论 | 第12-22页 |
| 2.1 光电探测器的工作原理 | 第12-14页 |
| 2.2 光电探测器的性能参数 | 第14-17页 |
| 2.3 常见的标准CMOS光电探测器 | 第17-22页 |
| 2.3.1 PIN光电探测器 | 第17-18页 |
| 2.3.2 双光电探测器 | 第18-19页 |
| 2.3.3 空间调制型光电探测器 | 第19-20页 |
| 2.3.4 金属-半导体-金属型光电探测器 | 第20-22页 |
| 第三章 标准CMOS光电探测器的设计 | 第22-39页 |
| 3.1 光电探测器测试系统 | 第22-25页 |
| 3.2 P~+/NWELL/P-SUB型双光电探测器的设计 | 第25-28页 |
| 3.3 空间调制型光电探测器的设计 | 第28-31页 |
| 3.3.1 空间调制型光电探测器结构设计 | 第28-30页 |
| 3.3.2 空间调制型光电探测器测试结果 | 第30-31页 |
| 3.4 MSM光电探测器的设计 | 第31-39页 |
| 3.4.1 MSM光电探测器基本原理 | 第32-36页 |
| 3.4.2 MSM光电探测器结构设计 | 第36-39页 |
| 第四章 双光电探测器的器件仿真 | 第39-52页 |
| 4.1 SILVACO ATLAS二维器件仿真平台简介 | 第39-43页 |
| 4.1.1 半导体器件模拟技术简介 | 第39页 |
| 4.1.2 SILVACO ATLAS二维器件仿真平台 | 第39-41页 |
| 4.1.3 Deckbuild使用说明 | 第41-43页 |
| 4.2 双光电探测器的器件仿真 | 第43-52页 |
| 4.2.1 双光电探测器的器件建模 | 第43-46页 |
| 4.2.2 双光电探测器的光电流与暗电流仿真 | 第46-48页 |
| 4.2.3 双光电探测器的本征带宽仿真 | 第48-50页 |
| 4.2.4 双光电探测器的光谱响应仿真 | 第50-52页 |
| 第五章 硅基光互连系统的探讨 | 第52-64页 |
| 5.1 正向注入型Si-LED阵列的设计 | 第52-58页 |
| 5.1.1 Si-LED发光机理 | 第52-55页 |
| 5.1.2 正向注入型Si-LED阵列的结构设计 | 第55-56页 |
| 5.1.3 正向注入型Si-LED阵列测试结果 | 第56-58页 |
| 5.2 硅基光互连系统概述 | 第58-64页 |
| 5.2.1 硅基光互连系统基本理论 | 第58-59页 |
| 5.2.2 硅基光互连系统研究进展 | 第59-64页 |
| 第六章 总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
