| 摘要 | 第13-14页 |
| Abstract | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 LaB_6的晶体结构、性质及应用 | 第16-20页 |
| 1.1.1 LaB_6的晶体结构 | 第16-17页 |
| 1.1.2 LaB_6的基本性能及应用 | 第17-19页 |
| 1.1.3 LaB_6材料的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.2 薄膜制备技术及生长机制 | 第20-22页 |
| 1.2.1 薄膜制备技术 | 第20-21页 |
| 1.2.2 薄膜生长过程 | 第21-22页 |
| 1.3 LaB_6薄膜化学成分分析 | 第22-23页 |
| 1.4 磁控溅射有机织物基薄膜的研究现状 | 第23-27页 |
| 1.4.1 磁控溅射法在织物后整理工艺上的应用 | 第23-24页 |
| 1.4.2 磁控溅射法制备抗菌织物的研究现状 | 第24页 |
| 1.4.3 磁控溅射法制备电磁屏蔽织物的研究现状 | 第24-25页 |
| 1.4.4 磁控溅射法制备防紫外织物的研究 | 第25-27页 |
| 1.5 选题意义及研究内容 | 第27-30页 |
| 第二章 实验方案及研究方法 | 第30-44页 |
| 2.1 技术路线及研究方案 | 第30-31页 |
| 2.2 试验用原材料及主要仪器设备 | 第31-33页 |
| 2.2.1 试验材料 | 第31-32页 |
| 2.2.2 主要仪器设备 | 第32-33页 |
| 2.3 溅射用靶材的制备 | 第33-34页 |
| 2.4 LaB_6薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 2.5 LaB_6薄膜成分调控 | 第35-37页 |
| 2.5.1 X射线光电子能谱分析 | 第35-36页 |
| 2.5.2 背底选择和定量分析 | 第36-37页 |
| 2.6 织物的结构参数测试与预处理工艺 | 第37-41页 |
| 2.6.1 织物紧度 | 第37-39页 |
| 2.6.2 织物厚度 | 第39页 |
| 2.6.3 织物每平方米克重 | 第39页 |
| 2.6.4 织物抗拉强度 | 第39-40页 |
| 2.6.5 预处理工艺 | 第40-41页 |
| 2.7 LaB_6薄膜组织结构表征 | 第41-42页 |
| 2.7.1 结构表征 | 第41页 |
| 2.7.2 表面形貌表征 | 第41-42页 |
| 2.7.3 化学键合表征 | 第42页 |
| 2.8 LaB_6薄膜性能表征 | 第42-44页 |
| 2.8.1 防紫外性能分析 | 第42页 |
| 2.8.2 红外性能分析 | 第42页 |
| 2.8.3 电阻测试分析 | 第42页 |
| 2.8.4 磁学性能分析 | 第42-43页 |
| 2.8.5 高温热稳定性分析 | 第43页 |
| 2.8.6 耐洗涤性能分析 | 第43-44页 |
| 第三章 富硼LaB_6靶材与薄膜化学当量的相关性研究 | 第44-62页 |
| 3.1 靶材成分设计 | 第44-48页 |
| 3.1.1 靶材粉末XPS全谱 | 第44-45页 |
| 3.1.2 靶材粉末镧硼元素分峰拟合 | 第45-47页 |
| 3.1.3 镧硼原子比 | 第47-48页 |
| 3.2 富硼LaB_6薄膜XPS分析 | 第48-51页 |
| 3.2.1 薄膜XPS全谱 | 第48页 |
| 3.2.2 薄膜镧硼元素分峰拟合 | 第48-50页 |
| 3.2.3 薄膜与靶材成分的关系 | 第50-51页 |
| 3.3 富硼LaB_6薄膜XRD分析 | 第51-53页 |
| 3.4 富硼LaB_6薄膜AFM分析 | 第53-57页 |
| 3.4.1 AFM表面形貌分析 | 第53-54页 |
| 3.4.2 AFM粗糙度分析 | 第54-56页 |
| 3.4.3 AFM表面高度分析 | 第56-57页 |
| 3.5 富硼LaB_6薄膜SEM分析 | 第57-59页 |
| 3.5.1 富硼量对表面形貌和断口形貌的影响 | 第57-58页 |
| 3.5.2 富硼量对沉积速率的影响 | 第58-59页 |
| 3.6 富硼LaB_6薄膜的Raman光谱分析 | 第59-60页 |
| 3.7 本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 有机织物基LaB_6薄膜的生长研究 | 第62-84页 |
| 4.1 有机织物基LaB_6薄膜表面形貌分析 | 第62-70页 |
| 4.1.1 氩气气压的影响 | 第62-64页 |
| 4.1.2 溅射功率的影响 | 第64-66页 |
| 4.1.3 工作偏压的影响 | 第66-68页 |
| 4.1.4 溅射时间的影响 | 第68-70页 |
| 4.2 断口形貌观察与沉积速率 | 第70-77页 |
| 4.2.1 氩气气压的影响 | 第70-72页 |
| 4.2.2 溅射功率的影响 | 第72-74页 |
| 4.2.3 工作偏压的影响 | 第74-76页 |
| 4.2.4 溅射时间的影响 | 第76-77页 |
| 4.3 LaB_6薄膜的分子结构分析 | 第77-80页 |
| 4.4 优化工艺下有机织物基LaB_6薄膜的精细结构表征 | 第80-81页 |
| 4.5 织物结构变化 | 第81-83页 |
| 4.6 本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 有机织物基LaB_6薄膜的性能研究 | 第84-118页 |
| 5.1 有机织物基LaB_6薄膜防紫外性能 | 第84-91页 |
| 5.1.1 透过光谱 | 第85-87页 |
| 5.1.2 氩气气压的影响 | 第87-88页 |
| 5.1.3 溅射功率的影响 | 第88-89页 |
| 5.1.4 工作偏压的影响 | 第89页 |
| 5.1.5 溅射时间的影响 | 第89-91页 |
| 5.2 有机织物基LaB_6薄膜红外性能 | 第91-103页 |
| 5.2.1 氩气气压的影响 | 第92-95页 |
| 5.2.2 溅射功率的影响 | 第95-97页 |
| 5.2.3 工作偏压的影响 | 第97-100页 |
| 5.2.4 溅射时间的影响 | 第100-103页 |
| 5.3 有机织物基LaB_6薄膜电学性能 | 第103-106页 |
| 5.4 有机织物基LaB_6薄膜磁学性能 | 第106-109页 |
| 5.5 有机织物基LaB_6薄膜高温稳定性能 | 第109-112页 |
| 5.6 有机织物基LaB_6薄膜耐洗涤性能 | 第112-116页 |
| 5.7 本章小结 | 第116-118页 |
| 第六章 结论 | 第118-119页 |
| 本文的主要创新点 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 附录 | 第132-133页 |
| 附件 | 第133页 |