| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 选题背景及其意义 | 第8-10页 |
| 1.3 国内外研究动态 | 第10-11页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第11页 |
| 1.5 本章小结 | 第11-12页 |
| 第2章 激光修阻机概述 | 第12-18页 |
| 2.1 片式合金电阻主要类型 | 第12页 |
| 2.2 片式合金电阻的主要修阻技术 | 第12-13页 |
| 2.3 高功率激光修阻机系统组成 | 第13-14页 |
| 2.4 高功率激光修阻机主要参数 | 第14-15页 |
| 2.5 高功率激光修阻机修阻原理与量测原理 | 第15-17页 |
| 2.6 本章小结 | 第17-18页 |
| 第3章 片式NiCrAlSi合金电阻的基本特性 | 第18-25页 |
| 3.1 NiCrAlSi合金材料特性 | 第18页 |
| 3.2 片式NiCrAlSi合金电阻修阻指标 | 第18-19页 |
| 3.3 切割路径对电阻阻值影响的数值分析 | 第19-24页 |
| 3.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第4章 激光加工原理与辅助气体流场特性 | 第25-37页 |
| 4.1 激光加工原理 | 第25-26页 |
| 4.2 辅助气体流场特性 | 第26-36页 |
| 4.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第5章 合金电阻的切割质量评价标准 | 第37-41页 |
| 5.1 我国制定的国家标准 | 第37-39页 |
| 5.2 相关文献中使用的评价标准 | 第39页 |
| 5.3 实际生产中常用的评价标准 | 第39-40页 |
| 5.4 本文采用的评价标准与仪器 | 第40页 |
| 5.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第6章 片式NiCrAlSi合金电阻修阻工艺参数对切割质量的影响 | 第41-66页 |
| 6.1 主要工艺参数对切割质量的影响 | 第41-64页 |
| 6.2 本章小结 | 第64-66页 |
| 第7章 片式NiCrAlSi合金电阻修阻工艺的优化 | 第66-74页 |
| 7.1 工艺参数优化方法 | 第66页 |
| 7.2 工艺参数优化实验 | 第66-73页 |
| 7.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第8章 结论与展望 | 第74-75页 |
| 8.1 论文研究成果 | 第74页 |
| 8.2 论文的创新点 | 第74页 |
| 8.3 进一步研究工作与展望 | 第74-75页 |
| 附件1 3 水平7因素正交表实验结果 | 第75-76页 |
| 附件2 信噪比分析结果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 个人简介 | 第83-84页 |