蓝宝石晶片缺陷激光无损检测及其计算模拟研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-28页 |
| 1.1 蓝宝石性质与应用 | 第9-14页 |
| 1.1.1 结构材料 | 第9-10页 |
| 1.1.2 窗口材料 | 第10-11页 |
| 1.1.3 衬底材料 | 第11-12页 |
| 1.1.4 其他方面应用 | 第12-14页 |
| 1.2 蓝宝石晶体生长与加工方法 | 第14-18页 |
| 1.2.1 蓝宝石晶体生长方法 | 第14-16页 |
| 1.2.2 蓝宝石晶片加工方法 | 第16-18页 |
| 1.3 蓝宝石晶片缺陷种类 | 第18-20页 |
| 1.4 蓝宝石晶片缺陷检测技术与现状 | 第20-26页 |
| 1.4.1 现有的蓝宝石晶片内部微缺陷检测方法 | 第20-23页 |
| 1.4.2 人工检测法 | 第23-24页 |
| 1.4.3 激光散射法检测微小颗粒 | 第24-26页 |
| 1.5 本课题主要意义和研究内容 | 第26-28页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第26页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 光散射理论 | 第28-35页 |
| 2.1 光散射理论 | 第28页 |
| 2.2 米氏散射理论 | 第28-30页 |
| 2.3 广义洛伦茨-米氏散射理论 | 第30-35页 |
| 第3章 激光散射计算仿真 | 第35-51页 |
| 3.1 散射光信号最佳接收位置的确定 | 第37-39页 |
| 3.2 θ=90°时不同缺陷空间散射光强分布研究 | 第39-44页 |
| 3.3 特征值的提取 | 第44-49页 |
| 3.3.1 第一特征值提取 | 第44-45页 |
| 3.3.2 第二特征值提取 | 第45-49页 |
| 3.4 小结 | 第49-51页 |
| 第4章 缺陷检测装置的研制 | 第51-59页 |
| 4.1 透射光斑分析 | 第51-53页 |
| 4.2 缺陷检测系统总体方案的设计 | 第53-58页 |
| 4.2.1 光源选择和散射方法的验证 | 第53-55页 |
| 4.2.2 检测系统各装置选择 | 第55-58页 |
| 4.3 小结 | 第58-59页 |
| 第5章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 结论 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 个人简历与攻读硕士学位期间已公开的专利 | 第68页 |
