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基于ZnO薄膜吸收光谱温变特性的反射式光纤温度传感器

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
符号说明第10-11页
第一章 绪论第11-26页
   ·课题研究的背景与意义第12-13页
   ·传统温度传感器第13-17页
     ·热电偶温度传感器第13-16页
     ·热电阻温度传感器第16-17页
   ·光纤传感系统概述第17-23页
     ·光纤传感器分类第18-21页
     ·光纤传感器的特点第21-22页
     ·光纤传感器的应用情况第22-23页
   ·光纤温度传感器概述第23-24页
     ·光纤温度传感器分类第23-24页
     ·光纤温度传感器的机理及特点第24页
   ·课题来源与内容第24页
   ·内容安排第24-26页
第二章 温度敏感材料与测温原理第26-34页
   ·敏感材料分类第26-27页
   ·温度敏感材料第27-30页
     ·温敏金属材料第27-29页
     ·温敏陶瓷材料第29-30页
   ·温敏半导体材料第30页
   ·新型半导体材料ZnO第30-31页
   ·ZnO 薄膜在光纤温度传感器中的应用第31-34页
     ·半导体材料的光吸收第31-32页
     ·ZnO 薄膜作为敏感材料的测温原理第32-34页
第三章 基于ZnO 薄膜吸收光谱温变特性的光纤温度传感系统设计第34-53页
   ·光纤特性与选择第34-40页
     ·光纤分类第34-36页
     ·光纤的传光原理第36-37页
     ·光纤的主要参数第37-39页
     ·本课题中所用光纤第39-40页
   ·光源特性与选择第40-43页
     ·光纤传感器对光源的要求第40-41页
     ·光源的种类第41页
     ·本课题中所选光源第41-43页
   ·传感系统的敏感探头第43-47页
     ·ZnO 薄膜的制备方法第43-44页
     ·电子束蒸发法制备ZnO 薄膜第44-46页
     ·ZnO 薄膜的表面形貌与结构分析第46-47页
   ·光纤光谱仪的选择第47-49页
   ·光纤温度传感系统设计方案第49-53页
     ·前期透射式传感系统方案第49-50页
     ·反射式传感系统方案第50-53页
第四章 反射式传感系统实验结果与讨论第53-61页
   ·热稳定性测试第53页
   ·高温温变特性测试第53-56页
   ·重复性测试第56-59页
   ·低温温变特性测试第59-61页
第五章 总结与展望第61-63页
   ·总结第61-62页
   ·工作展望第62-63页
参考文献第63-69页
致谢第69-70页
硕士期间发表的论文第70页

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