| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 微机电体声波谐振器的研究背景 | 第13-15页 |
| 1.2 微机电体声波谐振器国内外研究历史与现状 | 第15-24页 |
| 1.2.1 微机电体声波谐振器的发展 | 第15-16页 |
| 1.2.2 微机电体声波谐振器在通信领域的应用 | 第16-21页 |
| 1.2.3 微机电体声波谐振器在传感器方面的应用 | 第21-23页 |
| 1.2.4 微机电体声波谐振器国内研究现状及发展趋势 | 第23-24页 |
| 1.3 本文主要内容与创新 | 第24-26页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第26-27页 |
| 第二章 微机电体声波谐振器的原理与建模 | 第27-49页 |
| 2.1 固体中的声学原理 | 第27-32页 |
| 2.1.1 固体的基本弹性性质 | 第27-29页 |
| 2.1.2 固体中的声波传导 | 第29-32页 |
| 2.2 压电体中的声学 | 第32-36页 |
| 2.2.1 固体的压电性 | 第32-34页 |
| 2.2.2 压电体中的声波传导 | 第34-36页 |
| 2.3 微机电体声波谐振器建模 | 第36-46页 |
| 2.3.1 器件一维模型建立 | 第36-43页 |
| 2.3.1.1 器件Mason模型建立 | 第36-42页 |
| 2.3.1.2 器件MBVD模型的建立 | 第42-43页 |
| 2.3.2 器件三维模型的建立 | 第43-46页 |
| 2.3.2.1 器件有限元模型的建立 | 第43-46页 |
| 2.3.2.2 器件有限元分析软件介绍 | 第46页 |
| 2.4 微机电体声波谐振器主要性能 | 第46-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 微机电体声波谐振器多物理场有限元分析 | 第49-73页 |
| 3.1 有限元法分析器件步骤 | 第49-50页 |
| 3.2 微机电体声波谐振器电-声有限元分析 | 第50-66页 |
| 3.2.1 压电层对器件性能的影响 | 第50-53页 |
| 3.2.2 电极层对器件性能的影响 | 第53-60页 |
| 3.2.3 支撑层对器件性能的影响 | 第60-61页 |
| 3.2.4 衬底对器件性能的影响 | 第61-66页 |
| 3.3 微机电体声波谐振器热场有限元分析 | 第66-72页 |
| 3.3.1 不同结构器件热学性能分析 | 第67-69页 |
| 3.3.2 固态装配型器件热学性能分析 | 第69-72页 |
| 3.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第四章 微机电体声波谐振器膜层材料制备 | 第73-102页 |
| 4.1 柔性材料的选择 | 第73页 |
| 4.2 器件电极层制备 | 第73-85页 |
| 4.2.1 Mo电极层制备 | 第73-80页 |
| 4.2.1.1 射频磁控溅射Mo电极层实验安排 | 第74-75页 |
| 4.2.1.2 射频磁控溅射Mo电极层结果与讨论 | 第75-80页 |
| 4.2.2 W电极层制备 | 第80-85页 |
| 4.2.2.1 直流溅射W电极层实验安排 | 第81页 |
| 4.2.2.2 直流溅射W电极结果与讨论 | 第81-85页 |
| 4.3 刚柔衬底上器件电极层生长比较 | 第85-90页 |
| 4.3.1 刚柔衬底上生长W薄膜实验安排 | 第86页 |
| 4.3.2 刚柔衬底上生长W薄膜结果与讨论 | 第86-90页 |
| 4.4 器件压电层制备 | 第90-101页 |
| 4.4.1 射频磁控溅射AlN薄膜实验安排 | 第90-91页 |
| 4.4.2 射频磁控溅射AlN薄膜结果与讨论 | 第91-101页 |
| 4.5 总结 | 第101-102页 |
| 第五章 微机电体声波谐振器片上结构制备 | 第102-131页 |
| 5.1 微机电体声波谐振器制备工艺介绍 | 第102-104页 |
| 5.2 柔性微机电体声波谐振器制备 | 第104-121页 |
| 5.2.1 柔性微机电体声波谐振器工艺设计 | 第105页 |
| 5.2.2 柔性衬底准备 | 第105-114页 |
| 5.2.2.1 柔性衬底预处理 | 第105-110页 |
| 5.2.2.2 预处理结果分析 | 第110-113页 |
| 5.2.2.3 柔性衬底预处理总结 | 第113-114页 |
| 5.2.3 柔性器件谐振功能层图形化工艺研究 | 第114-118页 |
| 5.2.4 柔性器件性能测试 | 第118-121页 |
| 5.3 片上桥式结构微机电体声波谐振器制备 | 第121-130页 |
| 5.3.1 片上桥式结构微机电体声波谐振器工艺设计 | 第121-124页 |
| 5.3.2 缓坡结构工艺实现 | 第124-128页 |
| 5.3.3 器件结构实现与性能测试 | 第128-130页 |
| 5.4 本章小结 | 第130-131页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第131-134页 |
| 6.1 全文总结 | 第131-133页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第133-134页 |
| 致谢 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-146页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第146-147页 |