| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-20页 |
| 1 绪论 | 第20-37页 |
| ·清洗技术概述 | 第20-23页 |
| ·湿法清洗 | 第21-22页 |
| ·干法清洗 | 第22-23页 |
| ·等离子体清洗的机理 | 第23-24页 |
| ·电子在金属表面清洗过程中的作用 | 第23-24页 |
| ·离子在金属表面清洗过程中的作用 | 第24页 |
| ·自由基在金属表面清洗过程中的作用 | 第24页 |
| ·发射光线在金属表面清洗过程中的作用 | 第24页 |
| ·等离子体清洗源 | 第24-30页 |
| ·低气压等离子体清洗源 | 第25-27页 |
| ·大气压等离子体清洗源 | 第27-30页 |
| ·等离子体清洗发展和研究现状 | 第30-35页 |
| ·低气压等离子体清洗发展概况 | 第30-32页 |
| ·大气压等离子体清洗发展概况 | 第32-35页 |
| ·本文研究目的和重点 | 第35-37页 |
| 2 单管双高压大气压等离子体射流特性及在金属表面清洗中的应用研究 | 第37-64页 |
| ·引言 | 第37-38页 |
| ·电源频率对等离子体射流参量和清洗效果的影响 | 第38-62页 |
| ·实验装置 | 第38-39页 |
| ·电源频率对等离子体射流参量的影响 | 第39-57页 |
| ·电源频率对清洗效果的影响 | 第57-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 3 金属板接地电极的双管双高压大气压等离子体射流特性及在金属表面清洗中的应用研究 | 第64-79页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·氧气混合比对等离子体参量和清洗效果的影响 | 第64-77页 |
| ·实验装置 | 第64-66页 |
| ·氧气混合比对等离子体射流参量的影响 | 第66-73页 |
| ·氧气混合比对清洗效果的影响 | 第73-77页 |
| ·小结 | 第77-79页 |
| 4 外石英管接地电极的双管双高压大气压等离子体射流特性及在金属表面清洗中的应用研究 | 第79-97页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·不同的工作气体对等离子体射流参量和清洗效果的影响 | 第79-89页 |
| ·实验装置 | 第79-81页 |
| ·O_2/He和O_2/Ar等离子体射流参量的比较 | 第81-87页 |
| ·O_2/He和O_2/Ar等离子体射流清洗效果的比较分析 | 第87-89页 |
| ·气体流量对等离子体射流参量和清洗效果的影响 | 第89-95页 |
| ·实验装置 | 第89-90页 |
| ·气体流量对等离体射流参量的影响 | 第90-94页 |
| ·气体流量对润滑油污清洗效果的影响 | 第94-95页 |
| ·小结 | 第95-97页 |
| 5 三种不同等离子体射流装置的反应动力学方程 | 第97-113页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·大气压等离子体射流清洗反应动力学基本原理 | 第97-101页 |
| ·三种等离子体射流装置的反应动力学方程 | 第101-111页 |
| ·单管双高压等离子体射流装置的反应动力学方程 | 第101-104页 |
| ·金属板接地电极的双管双高压等离子体射流装置的反应动力学方程 | 第104-108页 |
| ·外石英管接地电极的双管双高压等离子体射流装置的反应动力学方程 | 第108-111页 |
| ·小结 | 第111-113页 |
| 6 结论和展望 | 第113-116页 |
| ·结论 | 第113-115页 |
| ·展望 | 第115-116页 |
| 本文创新点摘要 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-130页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 作者简介 | 第132页 |
