| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第10-11页 |
| ·微波微等离子体技术的发展 | 第11-18页 |
| ·国外研究现状 | 第12-16页 |
| ·国内研究现状 | 第16-18页 |
| ·论文的研究内容和创新点 | 第18-19页 |
| ·论文的组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 微带谐振器及等离子体相关理论 | 第20-31页 |
| ·微带线理论 | 第20-24页 |
| ·模式耦合理论 | 第24-28页 |
| ·微波等离子体原理 | 第28-30页 |
| ·微波在等离子体中的传播特性 | 第28-29页 |
| ·微波等离子体中的电子能量吸收 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 基于微波谐振器的微波微等离子体线性阵列源的研究 | 第31-50页 |
| ·微波微等离子体线性阵列源单元结构的研究 | 第31-36页 |
| ·波导波长的分析 | 第31-32页 |
| ·微波微等离子体线性阵列源单元结构的设计 | 第32-34页 |
| ·接地板尺寸对微波微等离子体源单元结构的影响 | 第34-35页 |
| ·馈电点位置对微波微等离子体源单元结构的影响 | 第35-36页 |
| ·微波微等离子体线性阵列源的研究 | 第36-44页 |
| ·基于耦合模理论的线性阵列结构的选择 | 第36-39页 |
| ·耦合条宽度对微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第39页 |
| ·导带宽度对微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第39-40页 |
| ·导带间距对微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第40-41页 |
| ·放电缝隙宽度对微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第41-42页 |
| ·接地板尺寸对微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第42页 |
| ·双馈源微波微等离子体线性阵列源 | 第42-44页 |
| ·双边对称微波微等离子体线性阵列源的研究 | 第44-49页 |
| ·接地圆柱半径对双边对称微波微等离子体源的影响 | 第46-47页 |
| ·导带长度对双边对称微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第47-48页 |
| ·接地板尺寸对双边对称微波微等离子体线性阵列源的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 微波微等离子体线性阵列源的实验研究 | 第50-56页 |
| ·微波微等离子体线性阵列源的制作 | 第50-51页 |
| ·微波微等离子体线性阵列源的S参数 | 第51-52页 |
| ·微波微等离子体线性阵列的激励 | 第52-55页 |
| ·实验系统及其工作原理 | 第52-53页 |
| ·微波微等离子体线性阵列的激励 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结和工作展望 | 第56-57页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-57页 |
| 研究生期间发表论文 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
