| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-24页 |
| ·面向多细胞研究的微平台 | 第8-12页 |
| ·面向单细胞研究的微平台 | 第12-17页 |
| ·针刺 | 第12-13页 |
| ·夹持 | 第13-15页 |
| ·拉伸 | 第15-17页 |
| ·工艺平台选择 | 第17-18页 |
| ·硅基微机械单轴拉伸平台工作原理与现状 | 第18-21页 |
| ·工作原理 | 第18-19页 |
| ·发展现状 | 第19-20页 |
| ·改进方向 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究内容与研究意义 | 第21-24页 |
| 第2章 细胞生物力学性能测试传感器拉伸端优化与设计 | 第24-32页 |
| ·波浪形热驱动器特性 | 第25-27页 |
| ·驱动器位移放大机理 | 第27-28页 |
| ·拉伸端尺寸设计 | 第28-30页 |
| ·温度影响 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 细胞生物力学性能测试传感器测力端优化与设计 | 第32-42页 |
| ·现有的水平测力方式 | 第32-36页 |
| ·光学测量 | 第32-33页 |
| ·电容测量 | 第33-34页 |
| ·压阻测量 | 第34-36页 |
| ·设计的光学水平测力方案 | 第36-37页 |
| ·设计的水平压阻测力方案 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 细胞生物力学性能测试传感器的工艺研究 | 第42-61页 |
| ·复杂结构的正面释放悬空工艺 | 第42-49页 |
| ·具有起伏结构的硅片表面光刻工艺 | 第42-45页 |
| ·复杂起伏结构的正向释放工艺 | 第45-48页 |
| ·正向释放的 SEM 效果 | 第48-49页 |
| ·细胞生物力学性能传感器制造工艺研究 | 第49-55页 |
| ·制造工艺设计 | 第49-50页 |
| ·版图设计 | 第50-54页 |
| ·流片结果 | 第54-55页 |
| ·工艺过程遇到的问题 | 第55-60页 |
| ·超声造成器件结构损伤 | 第55-57页 |
| ·欧姆接触退火工艺研究 | 第57-58页 |
| ·托盘缝间二氧化硅去除工艺研究 | 第58-59页 |
| ·单细胞放置工艺研究 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 传感器的基本性能测试 | 第61-70页 |
| ·驱动器性能测试 | 第61-63页 |
| ·驱动器特性测试系统 | 第61-62页 |
| ·驱动器特性测量 | 第62-63页 |
| ·测力计性能测试 | 第63-69页 |
| ·测力计特性测试系统 | 第64-65页 |
| ·测力计电阻特性测量 | 第65-67页 |
| ·测力计校准 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 结论 | 第70-71页 |
| ·论文主要研究工作和研究成果 | 第70页 |
| ·对进一步工作的展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 附录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第78页 |