纳米时栅超精密实验系统设计与优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景、目的与意义 | 第10-12页 |
| ·纳米位移测量技术现状 | 第12-15页 |
| ·非光学型位移测量 | 第12-13页 |
| ·光学型位移测量 | 第13-15页 |
| ·大量程纳米级位移传感器发展趋势 | 第15-16页 |
| ·国内研究现状和水平 | 第15-16页 |
| ·国外现状和水平 | 第16页 |
| ·研究的内容 | 第16-18页 |
| 2 纳米时栅工作原理与理论分析 | 第18-30页 |
| ·时空转换理论概述 | 第18-20页 |
| ·传感器结构模型 | 第20页 |
| ·传感器工作原理 | 第20-23页 |
| ·传感器数学模型与误差分析 | 第23-29页 |
| ·数学模型 | 第23-25页 |
| ·误差规律分析 | 第25-29页 |
| ·传感器实验系统设计要求 | 第29-30页 |
| 3 超精密定位工作台设计与优化 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·传统定位系统的结构与工作方式 | 第30-31页 |
| ·气浮导轨定位系统结构及工作方式 | 第31-35页 |
| ·控制系统的硬件平台 | 第32页 |
| ·A3200 控制器 | 第32-33页 |
| ·伺服系统配置 | 第33-35页 |
| ·控制器工作原理 | 第35-37页 |
| ·传统 PID 控制器工作原理 | 第35-36页 |
| ·A3200 控制伺服环工作原理 | 第36-37页 |
| ·气浮导轨系统精度检测 | 第37-38页 |
| ·小结 | 第38-40页 |
| 4 纳米时栅实验基座设计与优化 | 第40-46页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·实验基座方案一 | 第40-41页 |
| ·实验基座方案二 | 第41-42页 |
| ·实验基座方案三 | 第42-43页 |
| ·实验基座方案四 | 第43-44页 |
| ·小结 | 第44-46页 |
| 5 纳米时栅传感器实验激励信号设计与优化 | 第46-56页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·虚拟仪器技术 | 第46-50页 |
| ·虚拟仪器概念 | 第46-47页 |
| ·虚拟仪器的特点 | 第47-48页 |
| ·虚拟仪器的结构模型 | 第48-49页 |
| ·虚拟仪器的开发平台 | 第49-50页 |
| ·数据采集卡及软件配置 | 第50-51页 |
| ·NI PXI-5422 介绍 | 第50页 |
| ·NI PXI-5422 板卡的软件配置 | 第50-51页 |
| ·激励信号发生器的设计 | 第51-55页 |
| ·NI-FGEN 驱动函数介绍 | 第51-52页 |
| ·激励信号发生器前面板设计 | 第52-53页 |
| ·激励信号发生器程序设计 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 6 实验验证与分析 | 第56-68页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·实验系统的搭建 | 第56-57页 |
| ·稳定性的观察实验 | 第57-60页 |
| ·纳米时栅几何位置参数分析与实验 | 第60-65页 |
| ·Z-Y 平面几何位置实验研究 | 第61-63页 |
| ·X-Z 平面几何位置实验研究 | 第63-64页 |
| ·X-Y 平面几何位置实验研究 | 第64-65页 |
| ·纳米时栅大行程精度实验 | 第65页 |
| ·小结 | 第65-68页 |
| 7 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文及取得的研究成果 | 第74-75页 |
| 作者在攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第75页 |
