介孔Au/TiO2复合材料的原位合成及其低温气敏性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-36页 |
| ·气敏传感器和气敏材料的研究意义 | 第10-12页 |
| ·半导体气敏传感器 | 第12-16页 |
| ·金属氧化物半导体传感器研究历史 | 第12页 |
| ·半导体的表面能级 | 第12-14页 |
| ·氧化物半导体吸附气体后的表面能级 | 第14-16页 |
| ·影响材料气敏性能因素 | 第16-22页 |
| ·纳米材料颗粒粒径大小 | 第16-18页 |
| ·表面形貌影响 | 第18-20页 |
| ·表面掺杂 | 第20-22页 |
| ·TiO_2气敏传感器材料 | 第22-27页 |
| ·Au 气敏材料 | 第27-29页 |
| ·微型气敏传感器商用器件现状 | 第29-34页 |
| ·国内商用气敏传感器器件现状 | 第31-32页 |
| ·国外商用微型气敏传感器器件简介 | 第32-34页 |
| ·本论文主要工作和章节安排 | 第34-36页 |
| 第2章 介孔 Au/TiO_2复合材料制备 | 第36-44页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第36-37页 |
| ·Au 纳米粒子的原位组装 | 第37页 |
| ·形貌及其物性表征 | 第37-38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-42页 |
| ·材料的特性 | 第38-42页 |
| ·形成机理的探讨 | 第42-44页 |
| 第3章 复合材料气敏性能及分析 | 第44-62页 |
| ·气敏元件制备与测试 | 第44-45页 |
| ·湿度对电阻的影响 | 第45-47页 |
| ·乙醇气敏特性研究 | 第47-57页 |
| ·对 NH_3检测 | 第57-58页 |
| ·对其他气体选择性测试 | 第58页 |
| ·气敏分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-62页 |
| 第4章 微型气体传感器叉指电极的设计探索 | 第62-78页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·平面微型叉指电极探索 | 第62-67页 |
| ·叉指阵列微电极 | 第63-64页 |
| ·IDAM 的常规制备 | 第64-65页 |
| ·用丝网印刷制备微电极平板器件 | 第65-66页 |
| ·结合真空蒸镀的金电极 | 第66-67页 |
| ·共平面型微结构气体传感器阵列设计 | 第67-77页 |
| ·带加热板的设计与优化 | 第68-69页 |
| ·ANSYS 有限元模拟 | 第69-72页 |
| ·计算结果与分析 | 第72-76页 |
| ·模拟结果 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第5章 总结与展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 攻读硕士期间已发表论文 | 第88-90页 |
| 附图 | 第90-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
