环形集成电极工具电流变抛光研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·电流变抛光研究目的和意义 | 第10页 |
| ·光学元件抛光方法 | 第10-12页 |
| ·电流变抛光技术研究现状 | 第12-16页 |
| ·国外电流变加工技术研究现状 | 第12-15页 |
| ·国内电流变加工技术研究现状 | 第15-16页 |
| ·论文研究主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 环形集成电极工具及电场分析 | 第18-30页 |
| ·电流变抛光机理 | 第18-19页 |
| ·环形集成电极工具结构 | 第19-21页 |
| ·环形集成电极工具电场分析 | 第21-27页 |
| ·电场计算 | 第21-24页 |
| ·电场分布 | 第24-26页 |
| ·电场仿真 | 第26-27页 |
| ·静态电流变效应试验及抛光区域 | 第27-30页 |
| ·静态电流变效应实验 | 第27-28页 |
| ·抛光区域 | 第28-30页 |
| 第3章 电流变抛光材料去除模型及实验研究 | 第30-38页 |
| ·材料去除原理 | 第30页 |
| ·材料去除模型 | 第30-32页 |
| ·工件表面电场强度对材料去除率的影响 | 第32-34页 |
| ·材料去除实验 | 第34-38页 |
| 第4章 加工参数对电流变抛光的影响及实验研究 | 第38-50页 |
| ·实验方案 | 第38-39页 |
| ·电流变抛光工艺参数的正交实验分析 | 第39-41页 |
| ·工艺参数对表面粗糙度的影响 | 第41-45页 |
| ·加工间隙对表面粗糙度的影响 | 第41-42页 |
| ·加工时间对表面粗糙度的影响 | 第42-43页 |
| ·主轴转速对表面粗糙度的影响 | 第43-44页 |
| ·电压对表面粗糙度的影响 | 第44-45页 |
| ·电流变液组分对表面粗糙度的影响 | 第45-48页 |
| ·磨料浓度对表面粗糙度的影响 | 第45-46页 |
| ·磨料粒度对表面粗糙度的影响 | 第46-47页 |
| ·磨料种类对表面粗糙度的影响 | 第47-48页 |
| ·电流变抛光导体实验 | 第48-50页 |
| 第5章 五轴电流变抛光刀轨规划研究 | 第50-74页 |
| ·轨迹规划原则 | 第50页 |
| ·加工误差分析及计算 | 第50-55页 |
| ·刀轴摆动误差 | 第51-53页 |
| ·直线逼近误差 | 第53-55页 |
| ·已知工件模型的刀位点加密方法 | 第55-66页 |
| ·由Catia获取刀位文件 | 第55-56页 |
| ·基于最小二乘法原理的分段三次曲线拟合方法 | 第56-59页 |
| ·刀位点加密 | 第59-61页 |
| ·程序设计及刀位验证 | 第61-64页 |
| ·实验验证 | 第64-66页 |
| ·已知曲面方程的刀位轨迹规划 | 第66-74页 |
| ·曲面曲率计算 | 第66-67页 |
| ·步长计算 | 第67-68页 |
| ·行距计算 | 第68-72页 |
| ·实验验证 | 第72-74页 |
| 第6章 结论 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
