OCT技术在晶体硅太阳电池品质检测中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-10页 |
| 第二章 光学相干层析技术综述 | 第10-18页 |
| ·光学相干层析技术的发展概况 | 第10-12页 |
| ·光学相干层析技术基本原理 | 第12-15页 |
| ·白光干涉原理 | 第12页 |
| ·迈克尔逊干涉仪 | 第12-13页 |
| ·低相干光源 | 第13-14页 |
| ·OCT系统的分辨率 | 第14-15页 |
| ·扫频光源OCT | 第15-16页 |
| ·扫频光源OCT技术概述 | 第15-16页 |
| ·扫频光源OCT理论 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-18页 |
| 第三章 晶体硅电池及其形貌检测技术 | 第18-24页 |
| ·光伏发电的发展状况 | 第18-19页 |
| ·太阳电池种类和器件 | 第19-21页 |
| ·太阳电池材料和种类 | 第19页 |
| ·晶体硅太阳电池的原理和生产工艺 | 第19-21页 |
| ·晶体硅太阳电池常用的形貌检测技术 | 第21-23页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第23-24页 |
| 第四章 实验设备及方案 | 第24-28页 |
| ·测试设备及仪器 | 第24页 |
| ·硅片中的OCT分辨率 | 第24-26页 |
| ·测量原理 | 第25页 |
| ·测量过程 | 第25页 |
| ·结论 | 第25-26页 |
| ·图像数据处理 | 第26-28页 |
| 第五章 扫频光源OCT图像光强补偿 | 第28-32页 |
| ·图像误差 | 第28页 |
| ·扫频光源和振镜扫频系统 | 第28-29页 |
| ·补偿实验 | 第29-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-31页 |
| ·数据处理与分析 | 第30页 |
| ·图像补偿 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第六章 OCT 对单晶硅片制绒质量的检测 | 第32-36页 |
| ·检测原理 | 第32页 |
| ·实验 | 第32-33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-35页 |
| ·数据处理 | 第33页 |
| ·实验结果 | 第33-34页 |
| ·测量角度的影响 | 第34-35页 |
| ·验证实验结果 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第七章 OCT 对晶体硅电池的三维检测 | 第36-40页 |
| ·检测原理 | 第36页 |
| ·OCT 对晶体硅电池的三维形貌检测 | 第36-37页 |
| ·OCT 对晶体硅电池的缺陷与杂质的检测 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第八章 总结与展望 | 第40-42页 |
| ·总结 | 第40-41页 |
| ·创新点 | 第41页 |
| ·展望 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-48页 |
| 附录: 在攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第48页 |
