| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·VCSEL的发展状况 | 第7-8页 |
| ·VCSEL的基本结构及优势 | 第8-11页 |
| ·VCSEL的应用前景及发展方向 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 VCSEL的相关理论 | 第14-22页 |
| ·VCSEL的基本理论 | 第14-16页 |
| ·远场发散角 | 第16-17页 |
| ·光束质量 | 第17-22页 |
| 第三章 VCSEL的制备工艺 | 第22-39页 |
| ·外延片生长 | 第22-25页 |
| ·新型发散式电极结构光刻版的制作 | 第25-28页 |
| ·光刻工艺 | 第28-32页 |
| ·腐蚀工艺 | 第32-34页 |
| ·氧化工艺 | 第34-36页 |
| ·欧姆接触工艺 | 第36-39页 |
| 第四章 新型电极结构VCSEL的光束特性分析 | 第39-47页 |
| ·新型电极结构VCSEL单管器件的输出特性与光束特性分析 | 第39-44页 |
| ·新型电极结构VCSEL阵列器件的光束特性分析 | 第44-47页 |
| 结论与展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |