| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·准分子激光简介 | 第9-14页 |
| ·准分子激光特性分析 | 第9-12页 |
| ·准分子激光器的发展及其应用 | 第12-14页 |
| ·准分子激光均束装置的国内外研究现状 | 第14-18页 |
| ·本文研究内容 | 第18-21页 |
| ·问题的提出 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 光学模拟仿真设计基础 | 第21-27页 |
| ·光学设计概述 | 第21页 |
| ·ZEMAX 光学设计软件 | 第21-24页 |
| ·一般光学系统设计实现过程 | 第24-25页 |
| 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 248 nm 准分子激光整形均束装置 | 第27-55页 |
| ·微透镜光整形均束器原理分析 | 第27-30页 |
| ·准分子激光整形均束装置的总体设计方案 | 第30-32页 |
| ·ZEMAX 建模及光学系统优化 | 第32-45页 |
| ·使用 ZEMAX 模拟实测 248 nm 准分子激光能量分布 | 第32-38页 |
| ·基本光路的建立 | 第38-41页 |
| ·仿真实验结果分析及光学系统参数的优化 | 第41-44页 |
| ·光学系统参数的确立 | 第44-45页 |
| ·微透镜阵列准分子激光整形均束装置加工方案 | 第45-49页 |
| ·光学系统使用说明 | 第49-50页 |
| ·测试结果说明 | 第50-52页 |
| 本章小结 | 第52-55页 |
| 第4章 193 nm 准分子激光整形均束装置 | 第55-75页 |
| ·193 nm 准分子激光整形均束装置的总体设计方案 | 第55-56页 |
| ·ZEMAX 建模及光学系统优化 | 第56-64页 |
| ·使用 ZEMAX 模拟实测 193 nm 准分子激光能量分布 | 第56-59页 |
| ·整形均束系统光路建立 | 第59-62页 |
| ·仿真实验结果分析及光学系统参数的优化 | 第62-63页 |
| ·光学系统参数的确立 | 第63-64页 |
| ·微透镜阵列准分子激光整形均束装置加工方案 | 第64-66页 |
| ·光学系统使用说明 | 第66-67页 |
| ·测试结果说明 | 第67-69页 |
| ·微米级 193 nm 微透镜阵列整形均束装置 | 第69-73页 |
| 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 攻读硕士学位期间所获得的研究成果 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
