| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-26页 |
| ·纳米技术概论 | 第16-18页 |
| ·ZnO纳米材料的研究应用 | 第18-20页 |
| ·SiNWs阵列材料的研究应用 | 第20-21页 |
| ·异质结结构的研究应用 | 第21-22页 |
| ·本文主要工作内容及意义 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-26页 |
| 第二章 ZnO/SiNWs异质结纳米阵列的制备与表征 | 第26-44页 |
| ·实验试剂、仪器以及表征方法 | 第26页 |
| ·ZnO纳米材料的制备方法 | 第26-28页 |
| ·ZnO纳米线阵列的研究 | 第28-35页 |
| ·ZnO纳米线阵列的生长机理 | 第28-29页 |
| ·ZnO纳米线阵列的制备 | 第29-30页 |
| ·ZnO纳米线阵列的表征 | 第30-35页 |
| ·SiNWs阵列的研究 | 第35-38页 |
| ·SiNWs阵列的刻蚀机理 | 第35-36页 |
| ·SiNWs阵列的制备 | 第36-37页 |
| ·SiNWs阵列的表征 | 第37-38页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结纳米阵列的研究 | 第38-41页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结纳米阵列的制备 | 第38-39页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结纳米阵列的表征 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 第三章 ZnO/SiNWs异质结二极管电学特性研究 | 第44-57页 |
| ·光电池的电流-电压特性 | 第44-47页 |
| ·器件的制备与测试设备 | 第47-50页 |
| ·器件的制备 | 第47页 |
| ·测试设备 | 第47-50页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结二极管的电学特性分析 | 第50-54页 |
| ·I-V特性 | 第50-52页 |
| ·C-V特性 | 第52-53页 |
| ·光照特性 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 第四章 基于ZnO/SiNWs异质结纳米阵列的湿度传感器的探索研究 | 第57-72页 |
| ·湿度传感器概述 | 第57-58页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结阵列的电容式湿度传感器的敏感机理 | 第58-61页 |
| ·ZnO/SiNWs异质结阵列的电容式湿度传感器电路模型 | 第58-59页 |
| ·ZnO/SiNWs阵列湿度敏感机理 | 第59-61页 |
| ·基于LabView的湿度测试系统 | 第61-65页 |
| ·标准湿度环境 | 第61-62页 |
| ·信号转换电路 | 第62-64页 |
| ·数据采集系统 | 第64-65页 |
| ·ZnO/SiNWs阵列湿度传感器的性能测试 | 第65-69页 |
| ·灵敏度和线性度 | 第65-66页 |
| ·重复性和湿滞特性 | 第66-67页 |
| ·响应时间和稳定性 | 第67-69页 |
| ·同类电容式湿度传感器性能比较 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第75页 |
