| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 1 绪论 | 第11-17页 |
| ·论文研究背景 | 第11-12页 |
| ·半导体封装测试行业 | 第11页 |
| ·半导体封装测试行业的设备自动化 | 第11-12页 |
| ·封装测试 CIMS 系统现状 | 第12-14页 |
| ·封装测试 CIMS 技术现状 | 第12-13页 |
| ·封装测试 CIMS 发展趋势 | 第13页 |
| ·封装测试 CIMS 目前所存在的问题 | 第13-14页 |
| ·课题的提出 | 第14页 |
| ·论文主要工作和意义 | 第14-15页 |
| ·论文研究思路及主要内容 | 第14-15页 |
| ·论文研究意义 | 第15页 |
| ·论文结构安排 | 第15页 |
| ·本章小结 | 第15-17页 |
| 2 封装测试工艺及 IT/CIMS 系统概述 | 第17-22页 |
| ·封装测试工艺 | 第17-19页 |
| ·前线工艺（FOL，Front Of Line） | 第18页 |
| ·后线工艺（EOL，End Of Line） | 第18-19页 |
| ·测试工艺（TEST） | 第19页 |
| ·信息技术/计算机集成制造系统概述 | 第19页 |
| ·IT/CIMS 系统在 BackEnd 的应用 | 第19-20页 |
| ·IT/CIMS 系统在 BackEnd 和 Foundry 的区别 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 3 设备自动化相关的 SEMI 通讯标准 | 第22-39页 |
| ·SEMI 通讯标准框架 | 第22页 |
| ·SECS-I 通讯标准 | 第22-25页 |
| ·EIA RS232-C | 第22-23页 |
| ·交换码 | 第23-24页 |
| ·块（Block）的定义 | 第24-25页 |
| ·四种不同的超时（Timeout） | 第25页 |
| ·HSMS-SS | 第25-31页 |
| ·HSMS 简介 | 第26页 |
| ·HSMS 数据格式 | 第26页 |
| ·HSMS Header 定义 | 第26页 |
| ·HSMS Header 按控制消息的定义 | 第26-29页 |
| ·HSMS Header 按数据消息的定义 | 第29-31页 |
| ·SECS-II 简介 | 第31-33页 |
| ·SECS-II 消息格式分析 | 第33-34页 |
| ·GEM | 第34-38页 |
| ·GEM 概述 | 第34-36页 |
| ·GEM 标准 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 EAP/RMS 系统及模块设计 | 第39-54页 |
| ·EAP/RMS 系统需求分析 | 第39-46页 |
| ·制造部对 EAP/RMS 的需求 | 第39-41页 |
| ·设备部对 EAP/RMS 的需求 | 第41-43页 |
| ·工艺部对 EAP/RMS 的需求 | 第43-46页 |
| ·E3 自动化开发平台 | 第46页 |
| ·EAP/RMS 系统设计 | 第46-47页 |
| ·EAP/RMS 系统模块设计 | 第47-53页 |
| ·四大模块间的通讯方式 | 第49-50页 |
| ·Strategy 模块设计 | 第50-51页 |
| ·EAP Client GUI 模块设计 | 第51-52页 |
| ·E3 Web Services 模块设计 | 第52页 |
| ·Customized DLL 模块设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 EAP/RMS 系统实现 | 第54-83页 |
| ·设备模型在 E3 中的实现 | 第54-62页 |
| ·定义和建立 Die Bonder 的工艺类型（Process Type） | 第54-58页 |
| ·定义和建立 Die Bonder 的设备模板（Equipment Template） | 第58-62页 |
| ·MES LogIn 和切换 Online Remote 的功能实现 | 第62-66页 |
| ·MES LogIn 功能的实现 | 第62-64页 |
| ·设备切到 Online Remote 功能的过程及实现 | 第64-66页 |
| ·四大主要模块的实现 | 第66-77页 |
| ·Strategy 模块的实现 | 第66-71页 |
| ·EAP Client GUI 模块的实现 | 第71-73页 |
| ·E3 Web Services 模块的实现 | 第73-74页 |
| ·Customized DLL 模块的实现 | 第74-77页 |
| ·自动化系统的三大关键功能实现 | 第77-82页 |
| ·Lot 在 EAP/RMS 系统中自动转账的实现 | 第77-79页 |
| ·程序参数管控的实现 | 第79-81页 |
| ·Repeat Alarm 的管控和停止作业的实现 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 6 EAP/RMS 系统测试 | 第83-93页 |
| ·设备特征测试 | 第83-85页 |
| ·特征测试概述 | 第83页 |
| ·测试的一般步骤 | 第83-85页 |
| ·DEV 环境测试 | 第85-88页 |
| ·DEV 环境的测试资料准备 | 第85页 |
| ·测试的一般步骤 | 第85-88页 |
| ·系统三大关键功能测试 | 第88-91页 |
| ·Lot 自动转账测试 | 第88-89页 |
| ·程序参数管控测试 | 第89-90页 |
| ·重复报警测试 | 第90-91页 |
| ·产线整合测试 | 第91页 |
| ·EAP/RMS 系统测试总结 | 第91-92页 |
| ·上线（Release Production） | 第92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 7 结束语 | 第93-95页 |
| ·主要工作与创新点 | 第93-94页 |
| ·后续研究工作 | 第94-95页 |
| 缩写词 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第100-103页 |
| 附件 | 第103页 |
