| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| §1.1 引言 | 第13页 |
| §1.2 涂层分类 | 第13-16页 |
| §1.2.1 单层涂层 | 第14页 |
| §1.2.2 多层涂层 | 第14页 |
| §1.2.3 纳米技术涂层 | 第14-16页 |
| §1.3 CrAlN涂层的结构、性能与研究进展 | 第16-22页 |
| §1.3.1 CrAlN涂层的结构与性能 | 第17-19页 |
| §1.3.2 合金元素对CrAlN涂层性能的影响 | 第19-20页 |
| §1.3.3 CrAlN基纳米技术涂层 | 第20-22页 |
| §1.4 纳米多层致硬机理 | 第22-24页 |
| §1.4.1 模量差理论 | 第22-23页 |
| §1.4.2 共格应变理论 | 第23页 |
| §1.4.3 Hall-Petch理论 | 第23-24页 |
| §1.5 本课题的设计思想与研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 涂层的制备与表征 | 第25-35页 |
| §2.1 实验材料 | 第25页 |
| §2.2 涂层的制备 | 第25-30页 |
| §2.2.1 磁控溅射原理 | 第25-27页 |
| §2.2.2 磁控溅射镀膜设备 | 第27页 |
| §2.2.3 制备工艺 | 第27-30页 |
| §2.3 涂层表征与测试 | 第30-34页 |
| §2.3.1 X射线衍射(XRD) | 第30页 |
| §2.3.2 扫描电子显微镜(SEM)与能谱仪(EDS) | 第30-31页 |
| §2.3.3 高分辨透射电子显微镜(HRTEM) | 第31页 |
| §2.3.4 硬度和弹性模量的测量 | 第31-34页 |
| §2.3.5 摩擦磨损机与自动划痕仪 | 第34页 |
| §2.4 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 工艺参数对直流溅射沉积CrAlN涂层结构和性能的影响 | 第35-43页 |
| §3.1 引言 | 第35页 |
| §3.2 实验结果与讨论 | 第35-42页 |
| §3.2.1 Ar/N_2气流比对涂层的影响 | 第35-38页 |
| §3.2.2 气压对涂层的影响 | 第38-41页 |
| §3.2.3 温度对涂层的影响 | 第41-42页 |
| §3.3 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响 | 第43-50页 |
| §4.1 引言 | 第43页 |
| §4.2 实验结果与讨论 | 第43-49页 |
| §4.2.1 Al含量对涂层成分和组织结构的影响 | 第43-46页 |
| §4.2.2 Al含量对涂层硬度和弹性模量的影响 | 第46-47页 |
| §4.2.3 Al含量对涂层摩擦磨损性能的影响 | 第47-49页 |
| §4.3 小结 | 第49-50页 |
| 第五章 CrAlN/SiO2纳米多层涂层的微观结构和超硬效应研究 | 第50-59页 |
| §5.1 引言 | 第50-51页 |
| §5.2 实验结果与讨论 | 第51-58页 |
| §5.2.1 反应溅射的热力学分析 | 第51-52页 |
| §5.2.2 微观组织 | 第52-55页 |
| §5.2.3 力学性能 | 第55-58页 |
| §5.3 结论 | 第58-59页 |
| 第六章 CrAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构和性能的研究 | 第59-66页 |
| §6.1 引言 | 第59页 |
| §6.2 实验结果与讨论 | 第59-65页 |
| §6.2.1 反应溅射的热力学分析 | 第59-60页 |
| §6.2.2 微观组织 | 第60-63页 |
| §6.2.3 力学性能 | 第63-65页 |
| §6.3 结论 | 第65-66页 |
| 第七章 结论与创新点 | 第66-68页 |
| §7.1 论文结论 | 第66-67页 |
| §7.2 论文创新点 | 第67-68页 |
| 符号表 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-76页 |
| 在读期间发表的论文和承担科研项目及取得成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
