ф600mm干涉仪系统传递函数的检测与分析方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·国内外大口径干涉仪 | 第8-10页 |
| ·波面分析软件 | 第10-12页 |
| ·本论文的主要内容 | 第12-14页 |
| 2 干涉仪系统传递函数的测试 | 第14-25页 |
| ·系统传递函数的测试原理 | 第14-17页 |
| ·系统传递函数的定义 | 第14-15页 |
| ·干涉仪系统传递函数的测试方法 | 第15-17页 |
| ·标定Φ600mm大口径干涉仪系统传递函数 | 第17-19页 |
| ·Φ600mm大口径干涉仪系统系统 | 第17页 |
| ·标定干涉仪系统传递函数的实验步骤 | 第17-18页 |
| ·计算干涉仪系统传递函数的程序算法 | 第18-19页 |
| ·影响干涉仪系统传递函数标定结果的因素 | 第19-24页 |
| ·台阶高的标定误差对检测结果的影响 | 第19-21页 |
| ·台阶面的倾斜对检测结果的影响 | 第21-22页 |
| ·图像滤波对传递函数检测结果的影响 | 第22-24页 |
| ·本章小节 | 第24-25页 |
| 3 基于白光干涉的台阶板台阶高的测试 | 第25-34页 |
| ·白光迈克尔逊干涉仪原理 | 第25-28页 |
| ·干涉显微镜测量台阶形貌的原理 | 第28-29页 |
| ·白光干涉垂直扫描系统的构建 | 第29-31页 |
| ·台阶面的测量 | 第31-32页 |
| ·CCD本底噪声对检测结果的影响 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 干涉仪波面分析软件 | 第34-56页 |
| ·基于频域的面形评价参数 | 第34-44页 |
| ·波前梯度均方根(GRMS) | 第34-41页 |
| ·波前功率谱密度(PSD) | 第41-44页 |
| ·波面滤波分析与处理 | 第44-55页 |
| ·窗函数法设计滤波器的原理 | 第44-47页 |
| ·波面滤波程序算法框图 | 第47-48页 |
| ·对仿真波面的滤波处理 | 第48-51页 |
| ·对实际波面的滤波处理 | 第51-54页 |
| ·结果与结论 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·论文总结 | 第56页 |
| ·有待解决的问题 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
